功能薄膜及其沉积制备技术1.pptVIP

当在某些功能器件应用时，需制备底电极。这里所指的底电极实际就 是一种底材。往往同一种功能薄膜可能会应用于不同器件之中，因此，要针对不同器件的 应用，在考虑物理功能薄膜材料的同时，应考虑适合用于所设计的器件应用的衬底或底材 的选材。 铁电材料，是指具有铁电效应的一类材料，它是热释电材料的一个分支。在一些电介质晶体中，晶胞的结构使正负电荷重心不重合而出现电偶极矩，产生不等于零的电极化强度，使晶体具有自发极化，晶体的这种性质叫铁电性（ferroelectricity）。 所谓铁电材料，是指材料的晶体结构在不加外电场时就具有自发极化现象，其自发极化的方向能够被外加电场反转或重新定向。铁电材料的这种特性被称为“铁电现象”或“铁电效应”。与铁磁体的磁滞回线形状类似,所以人们把这类晶体称为铁电体(其实晶体中并不含有铁) 铁电现象是在一种名为钙钛矿的材料中发现的，而钙钛矿材料的晶格点阵中的离子，是在某一方向上被分离成的正负离子，也就是在钙钛矿晶体内部产生了一个电 耦极子。当给这种晶体加上一个电压时，这些耦极子就会在电场作用下排列。改变电压的方向，可使耦极子的方向反转。耦极子的这种可换向性，意味着它们可以在 记忆芯片上表示一个“信息单元”。而且，即使在电压断开时，这些耦极子也会保持在原来的位置，使铁电存储器不用电就能保存数据。这与大多数计算机中使用的 随机存取存储器的记忆芯片明显不同，后者需要用电才能保存数据。 以一定的升温速度加热高聚物驻极体，则原来“冻结”的极化电荷就要释放出来，这种现象就称为热释电。有些晶体可以因温度变化而引起晶体表面电荷，这一现象称为热释电效应。 有些特殊工况还需应用特殊性能的纳米功能薄膜，这是因为它的独特量子尺寸效应、体积效应和表面效应，使材料的 磁学、光学、电学、力学等功能产生惊人的变化。因此对这些特殊功能薄膜，难以归纳出 一个通用的设计选择原则。 压电体受到外机械力作用而发生电极化，并导致压电体两端表面内出现符号相反的束缚电荷，其电荷密度与外机械力成正比，这种现象称为正压电效应. 压电体受到外机械力作用而发生电极化，并导致压电体两端表面内出现符号相反的束缚电荷，其电荷密度与外机械力成正比，这种现象称为正压电效应. 压电体受到外机械力作用而发生电极化，并导致压电体两端表面内出现符号相反的束缚电荷，其电荷密度与外机械力成正比，这种现象称为正压电效应. 压电体受到外机械力作用而发生电极化，并导致压电体两端表面内出现符号相反的束缚电荷，其电荷密度与外机械力成正比，这种现象称为正压电效应. 压电体受到外机械力作用而发生电极化，并导致压电体两端表面内出现符号相反的束缚电荷，其电荷密度与外机械力成正比，这种现象称为正压电效应. LB膜(兰格缪尔·布洛奇特薄膜)是一种超薄的有机分子薄膜，是有机分子器件的 主要薄膜材料。它是由羧酸及其盐、脂肪酸、烷基族以及染料、蛋白质等有机物所构成的 分子薄膜或多层单分子层叠加的，具有超晶格特性的薄膜。LB膜在分子聚合、光合作用、 磁学、微电子、光电子器件、激光、声表面波、红外检测、光学等领域中有广泛的应用。 它是将制备的有机高分子材料溶于某种易挥发的有机溶剂中，然后滴在水面或其他溶液 上，待溶剂挥发后，液面保持恒温和被施加一定压力，溶质分子沿液面形成致密排列的单 分子膜层，接着用适当的装置将分子逐层转移，组装到固体载片上，并按需要制备几层到 数百层的LB膜。利用LB膜功能体系实现分子尺度上的装配。 * LB膜(兰格缪尔·布洛奇特薄膜)是一种超薄的有机分子薄膜，是有机分子器件的 主要薄膜材料。它是由羧酸及其盐、脂肪酸、烷基族以及染料、蛋白质等有机物所构成的 分子薄膜或多层单分子层叠加的，具有超晶格特性的薄膜。LB膜在分子聚合、光合作用、 磁学、微电子、光电子器件、激光、声表面波、红外检测、光学等领域中有广泛的应用。 它是将制备的有机高分子材料溶于某种易挥发的有机溶剂中，然后滴在水面或其他溶液 上，待溶剂挥发后，液面保持恒温和被施加一定压力，溶质分子沿液面形成致密排列的单 分子膜层，接着用适当的装置将分子逐层转移，组装到固体载片上，并按需要制备几层到 数百层的LB膜。利用LB膜功能体系实现分子尺度上的装配。 * 1.3 功能薄膜材料的发展趋势 1.3.1 功能薄膜材料小型化、多功能化和高度集成化 （1）集成铁电器件 铁电随机存储器(FRAM)，是一种具有高速、高密度、低功耗、抗辐射的典型铁电集成器件。它有在断电情况下也不会丢失数据的优点，是最有发展前途的新型存储器件之一。用于这种存储器的铁电材料主要有钙钛矿结构系列，包括等，其原理是基于铁电材料PbZr1-xTixO3、SrBi2Ti2O9和Bi4-xLaxTi3O12的高介电常数和铁电极化特性，采用射频磁控溅射沉积制备铁电薄膜