ナノサイズの周期構造を有する高次構造体の創製とその応用に関する研究.docVIP

シーズ名 ナノサイズの周期構造を有する高次構造体の創製とその応用に関する研究 工学研究科機械物理系専攻　教授　横川　善之 ＜概要＞ 表面処理は、基板の本来の特性を生かしたまま、様々な付加価値を基板に与えている。陽極酸化は酸化膜を表面に形成するが、処理条件を調整することによりメソスケールで規則正しく配列したナノホール構造を形成させることができる。それを鋳型に用いることでナノホール、ナノピラー構造を持つ機能性セラミックス基板を作製することができる。陽極酸化の電解質を変えることで、気孔径を20～300nmの間で調整することができる。反応性スパッタ法、ナノインプリント法とゾルゲル法を組み合わせることで、ナノピラーあるいはナノホール構造を有する様々な機能性セラミックス基板を調整する。 ＜アピールポイント＞ 近年、物理的、化学的手法によるナノピラー構造、ナノホール構造作製の研究が注目されている。ナノピラーでは、溶液法による酸化亜鉛、フラックス法や水熱法での酸化チタン、ホール構造では、フェムト秒レーザー加工やＣＶＤ、近接場ナノリソグラフィ、電子線描画法、スパッタリングでの共晶相分離法などが報告されているが、化学的手法によるものは生成物が合成法で制約を受け、物理的手法では極めて高価な装置が必要であるという問題点がある。陽極酸化による鋳型を用いる方法は、安価であり、皮膜の生成物に制約がないというメリットがある。一方、ナノインプリント法での樹脂はサンプル出荷段階であるなど、概ね研究段階であり、実用化へは成功事例を積み重ねる成果の蓄積が必要である。我々は、反応性スパッタ法でナノピラー構造を有するアナターゼ型酸化チタンなどの作製に成功している。 ＜利用?用途?応用分野＞ ナノピラー構造を持つアナターゼ型酸化チタンは、接触面積の飛躍的な増大により、効果的な環境浄化部材として応用可能である。また、細胞培養担体としてナノピラー構造は近年、研究例報告があり、再生医工学用担体として有望である。 ＜関連する知的財産権＞ ＜関連するＵＲＬ＞ キーワード 機能性セラミックス薄膜、ナノピラー、ナノホール ナノテク?材料 環境?エネルギー 安全?安心 ナノトポタクティック ナノピラー＆パターニング （上）陽極酸化アルミニウムを鋳型とし反応性スパッタ法で形成したナノピラー構造をもつアナターゼ型酸化チタン． （右）中空ピラー構造を持つ陽極酸化チタン． 500nm 500nm