曝光机要点技术解析.pptVIP

1) 曝光机的光谱 波长(nm) 光相对强度(%) 波长(nm) 光相对强度 (%) 300mmⅹ400mm 基板用lens 200mmⅹ200mm 基板用lens 2) 曝光量及照度实测值 区分 设定值 实测值 Filter - 無 UV-31 UV-33 UV-35 曝光量 (mJ/cm2) 50 55.9 50.8 49.2 42.4 100 108.5 97.4 94.6 81.3 150 160.3 144.7 139.8 122.1 照度 - 19.3 17.2 16.7 14.3 300mmⅹ400mm 基板用LENS 区分 设定值 实测值 Filter - 無 UV-31 UV-33 UV-35 曝光量 (mJ/cm2) 50 52.8 47.9 46.6 40.7 100 103.0 93.3 91.8 79.2 150 151.1 138.3 134.1 117.3 照度 - 31.8 29.0 28.1 24.5 200mmⅹ200mm基板用LENS 303nm j-Line 313 334nm i-Line h-Line g-Line 无filter 无filter 曝光工艺要素技术曝光对 PS的 影响 3) 波长 vs. PS 高度 未使用 曝光工艺要素技术曝光对 PS的 影响 4) 显影后 PS 形象 未使用 未使用 照度 使用Filter 曝光工艺要素