第4章4-2现电产品设.docVIP

§4-2 位移检测传感元件 机床位移测量——数字显示装置(数显) 数字显示装置： 通过位移传感器把机械位移量转换为电信号，经电路处理进行计数显示的装置 大位移测量，位移传感器有光栅、磁尺(磁栅)、感应同步器… 机床数显装置测量精度：±0.01mm/m，高精度±0.003mm/m，加修正±0.0015mm/m；角度±0.5? 机床数显装置有效行程：150mm～30m(国内16m) 一、光栅式位移传感器 光栅 基体上刻制有等间距均匀分布条纹的光学元件 用于位移测量的光栅——计量光栅 按照光路分：透射光栅和反射光栅 按线纹密度分：光栅和细光栅 按结构形式分：长光栅和圆光栅 光栅(透射光栅)式位移传感器 组成：光源、长光栅1、短光栅2、狭缝3、透镜4、光电元件5 长光栅——标尺光栅 短光栅——指示光栅 长光栅、短光栅刻有相同密度的条纹，条纹之间的距离ω——节距(栅距) 刻线宽度a，缝隙宽度b，ω=a+b 通常a＝b，或a：b＝1.1:0.9 线纹密度一般为每毫米l00、50、25和10线 标尺光栅的有效长度为测量范围(标尺光栅可接长扩大测量范围)；指示光栅比标尺光栅短得多。使用时两光栅相互重叠，两者相距一个微小距离d(取d＝ω2/λ，λ为光波长)，其中一个固定，另一个随被测物体移动，实现位移测量 1、光栅测量原理 当指示光栅和标尺光栅的线纹相交一个微小夹角时，由于挡光效应(对线纹密度≤50条/mm光栅)或光的衍射作用(对线纹密度≥100条/mm光栅)，在与光栅线纹大致垂直的方向上(确切说是两线纹夹角的等分线上)，产生明暗相间的条纹——莫尔条纹 莫尔条纹特征： (1)莫尔条纹利用光的干涉现象，具有放大作用 莫尔条纹间距与两光栅线纹夹角θ关系 W——间距；ω——光栅栅距；θ——两光栅刻线间的夹角(rad) ω一定时，θ越小，W越大——栅距放大1/θ倍，提高测量灵敏度 (2)莫尔条纹能均化误差 莫尔条纹由光栅的大量刻线共同形成，对线纹的刻划误差有平均抵消作用，能在很大程度上消除周期误差的影响，提高测量精度 (3)莫尔条纹的移动和光栅的移动一一对应 在两光栅沿刻线的垂直方向作相对移动时，莫尔条纹在刻线方向移动。两光栅相对移动栅距ω，莫尔条纹同步移动间距W，固定点上的光强度变化一周。光栅反向移动时，莫尔条纹移动方向随之反向。只要读出移动的莫尔条纹数，就可知道光栅的栅距 若用光电元件接收莫尔条纹移动时光强的变化，将光信号转换为电信号(电压或电流)输出，输出幅值可用光栅位移量x的正弦函数表示 输出电压 e——光电元件输出的电压信号；e0——输出信号中的平均直流分量；em——输出正弦信号的幅值；x——两光栅间的瞬间相对位移 电压信号经放大、整形变为方波，经微分电路转换成脉冲信号，经辨向电路和可逆计数器计数，实时地以数字形式显示出位移量的大小 位移量为脉冲数与栅距的乘积。当栅距为单位长度时，显示的脉冲数直接表示出位移量的大小 2、细分技术 以移过的莫尔条纹数量来确定位移量，其分辨力为光栅栅距 为提高分辨力和测得比栅距更小的位移量，可采用细分技术 在莫尔条纹信号变化的一个周期内，给出若干个计数脉冲，减小脉冲当量 细分方法：机械细分和电子细分 电子细分法中常用的四倍频细分法 在莫尔条纹的一个栅距W内，安装4个相距W/4的光电元件，在莫尔条纹移动的一个周期内，得到相位相差π/2的4个正弦信号，整形得到四个计数脉冲，实现四倍频细分 在相差W/4位置上安装四只光电元件实现四倍频细分——不可能得到高的细分数，因为在一个莫尔条纹的间距内不可能安装更多的光电元件。优点：对莫尔条纹产生的信号波形没有严格要求 光栅式位移传感器优点：分辨力高(可达1μm或更小)、测量范围大(几乎不受限制)、动态范围宽等特点，易于实现数字化测量和自动控制。缺点：对使用环境要求较高(在现场使用时要求密封，以防止油污、灰尘、铁屑等污染) 二、磁尺(磁栅式位移传感器) 根据用途分长磁栅和圆磁栅位移传感器，分别测量线位移和角位移 长磁栅形状分尺型、带型和同轴型 长磁栅位移传感器为例，说明磁栅式位移传感器工作原理 组成：磁栅、磁头 在磁栅(非磁性金属尺)的平整表面上，镀磁性材料薄膜，用录音磁头沿长度方向按一定波长记录一周期性信号，以剩磁的形式保留在磁尺上 录制后磁尺的磁化图形排成SN、NS状态 磁栅上的磁信号由磁头读取 磁头分动态、静态磁头 动态磁头(速度响应式瞬头)，只有一个绕组，当磁头沿磁尺作相对运动时才有信号输出 输出为正弦波，在N、N重迭处输出正信号最强，在S、S重迭处负信号最强 静态磁头(磁通响应式磁头)，磁头有两个绕组，励磁绕组和输出绕组 在励磁绕组中输入高频励磁信号电流，励磁电压为 Ui＝Usinωt 磁头不动，输出绕组输出一等幅正弦电压信号，频率为励磁电压的频率