飞顿激光-Alma大功率半导体激光器.docVIP

探秘大功率半导体激光器 半导体激光器以其体积小,电光转换效率高,寿命长等优点在科研、工业、医疗等领域获得了广泛的应用，上世纪九十年代初，欧美等几大公司相继生产出可供商用的半导体激光器，使激光的实际应用价值发生了革命性的进步，在商用大功率半导体激光器的研制、生产制造、工艺技术等关键技术被欧美等几大公司所垄断。由于其他种类的激光器产生激光的机理过于复杂，使其体积、重量特别大，功耗高等原因，大大限制了激光的应用。而半导体激光器的出现使这些问题迎刃而解。随着半导体激光器的技术进一步成熟，其应用领域不断扩大，前景十分广阔。 大功率半导体激光器芯片的制造技术 世界上第一只半导体激光器自问世以来，经过几十年来的研究，其制作技术经历了由扩散法到液相外延法，气相外延法，分子束外延法,mocvd 方法 金属有机化合物汽相淀积 ，化学束外延以及它们的各种结合型等多种工艺。其激射阈值电流由几百mA 降到几十mA，直到亚mA，其寿命由几百到几万小时，乃至百万小时；从最初的低温 77k 下运转发展到在常温下连续工作，单个芯片输出功率由几毫瓦提高到数十瓦级，其生产工艺复杂、应用设备多，目前只有欧美等几大公司所掌握。 大功率半导体激光器封装技术 大功率半导体激光器的光学特性、输出功率以及可靠性等都与器件的结构、工作温度密切相关。要实现半导体激光器大功率输出，就必须采用特殊的封装技术将微小的半导体激光器芯片进行线阵列、叠阵组合，要保证激光器有较高的效率, 较好的光谱和较高的输出功率,对大功率半导体激光器的封装技术有更高的要求, 诸如热沉材料选择和结构优化、焊接、冷却及光束整形和光纤耦合等, 从而减小热阻, 降低串联电阻, 提高光谱质量。它涉及到各种专用设备和工艺，生产条件等诸多因素，目前大功率半导体激光器件输出功率由几瓦提高到数千瓦级。 采用先进冷却技术 目前大功率半导体激光器的电光转化效率20-50% , 即有的电功率将转化成热功率。而半导体激光器的光学特性、输出功率以及可靠性等都与器件的工作温度密切相关。对于大功率半导体激光器来说, 冷却技术是重要技术之一。平均功率密度高的激光器阵列如高占空比和连续激光器, 主动冷却是必需的。经过科技人员的尝试和努力，现在, 各种水冷器结构多为多层片的微通道结构, 是效率较高、先进的冷却技术，采用的材料有硅、铜或金刚石。每层片上设计有流通冷却液的图形和微通道, 采用常规的化学方法刻蚀,或用激光加工。这种结构可以有效的提高冷却液的交换率和循环效率, 减小热阻，同时体积小、重量轻。 半导体激光器阵列微通道热沉示意图形 国外半导体激光器垂直阵列产品 大功率半导体激光器具有一系列优点, 如高电光转化效率可通过选用不同的有源区材料或改变多元化合物半导体的组分得到所需的激射波长, 覆盖的波段范围，宽广寿命长具有直接调制能力而且体积小、重量轻。常用大功率半导体激光器阵列泵浦的固体激光器,和各种各样的固体激光器系统, 其寿命和可靠性大约是闪光灯抽运系统的100倍, 总体效率至少比闪光灯抽运高10倍。 大功率半导体激光器技术在军事、航空、空间激光通信系统中得到了广泛应用,如大功率固体激光器在航空和机载激光领域的应用。 另一个重要的应用领域是大功率半导体激光器阵列在生物医学中的手术应用； 在激光美容医学领域，世界著名的设备制造商先后推出了半导体激光治疗系统，其中以色列飞顿激光公司推出的soprano半导体脱毛激光系统，它是大功率半导体激光应用系统，是一款真正的既能有很好的脱毛疗效，又美观、稳定可靠的脱毛美容系统，采用先进的大功率半导体激光器技术，具有效率高、体积小、重量轻，操作界面友好，操作简便，长时间运行稳定等优点。