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第六章 光学薄膜参数测量 光学薄膜参数测量包括介质膜折射率测量、光学薄膜厚度测量、光学薄膜透射比测量、光学薄膜反射比测量、光学薄膜吸收比测量、光学薄膜散射比测量、薄膜机械强度和应力测量等。 我们介绍光学薄膜厚度测量、光学薄膜透射比和反射比测量。 4.1光学薄膜厚度测量 光学薄膜厚度测量有两种方法： ★双光束干涉法； ★多光束干涉法。 一、双光束干涉法 仪器：迈克尔逊干涉仪 倾斜反射镜，使被测样品和7′构成 带楔形的空气平板，得到干涉条纹。 被测样品有两种形式： a）——在玻璃基片的一半上镀有被测量厚度d1的透明介质膜，折射率n1，则膜厚d1为 b）——在a）的基础上加镀一层Al膜，则膜厚d1为 b）方法的优点是不要预先知道被测薄膜的折射率，但要多镀一层Al膜。 二、多光束干涉法 读数显微镜迎着照明光观察，将看到透射的等厚多光束干涉条纹；读数显微镜顺着照明光观察，将看到反射的等厚多光束干涉条纹。薄膜厚度： 多光束干涉法的优点是： ①准确度高，可达1nm； ②可测透明膜，亦可测吸收膜； ③不要预先知道膜层的光学常数，根据读数显微镜测量b和a值可求得膜层厚度。 三、等色序干涉法 用等色序干涉法测薄膜厚度时，将待测薄膜镀在基片的上半表面，待测薄膜的光学参数为n1，d1，其上整个表面上再镀上半透半反的Ag膜，然后将镀有Ag膜的另一块半