基于硅微通道板的型三维传感器.docVIP

基于硅微通道板的新型三维传感器 【摘要】：三维结构材料的制备和应用已经引起人们极大关注,而硅基三维结构材料更是因为具有与传统集成电路工艺的兼容性以及与体材料相比所具备的独特物理与化学特性,成为制备微型电化学传感与能源器件最理想的材料。本文以电化学刻蚀技术制备的硅基微通道板为基础,开展了如下几个方面的研究工作：1.论文首先介绍了利用光辅助电化学刻蚀技术制备硅基微通道板的方法。工艺中实验参数如刻蚀溶液浓度,光照,偏压和温度也被进一步优化。在选定条件下制得的硅基微通道样品具备良好表面形貌,大的比表面积和高深宽比,并可以和衬底自分离,可作为新型三维材料应用于各个领域。2.基于竖直排列的镀镍硅基微通道板和在其表面沉积的高度分散的钯纳米粒子,制备了一种高灵敏度的电流型乙醇电化学传感器。钯修饰的镀镍硅基微通道板电极的表面形貌由扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射图样(XRD)表征分析。钯/镍/硅基微通道板电极对乙醇的电化学探测性能通过循环伏安法和电流测定法进行研究。这种具备三维结构的电极对于乙醇在0.10molL-1的氢氧化钾溶液中的氧化具有很高的催化活性。在-0.10V的测量电位下,钯/镍/硅基微通道板电极显示了很高的灵敏度,可以达到0.992mAmM-1cm-2,计算得到的检测下限为16.8μM。检测线性范围高达60mmolL-1线性相关系数为0.998。它同时还具有良好的电催化性能,快速响