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PVD泵知识 11 8, 2012  Copyright ?2012,ULVAC,Inc.All rights reserved  Page 1 抽气时间计算公式  V （L） P1 容器容积 真空室 t= S 真空泵排气速度 × 2.303log P 2 （L/MIN） t=t1+t2+t3  初期压力 （pa） 最终压力 （pa）  主阀 例：50升容积的容量，5分钟内从大气压 减压至1000pa,应选哪种真空泵？ S= V 50 × 2.303log P11.01 × 105 t 5 P2 1000 S≈ 23 L/min 真空泵 考虑到管道的连接与漏气等问题，实际 选型时，要考虑到安全率  Copyright ?2012,ULVAC,Inc.All rights reserved  Page 2 PVD系列概要  1.PVD-N180/PVD-N360 PVD-N180 PVD系列真空泵为双级真空泵，泵体小而 坚固，极限压力低，运转时的振动、噪音小。 另外，由于装有气镇阀，对水蒸气等冷凝性气 体进行排气 过程中发挥作用。 2.PVD-N180-1/PVD-N360-1 该型号真空