单晶硅准方片技规格.docVIP

?卡姆丹克公司 公司地址:上海南汇工业园区园迪路16号 邮编:201314 电话:(86 21)6804 3010 传真: (86 21)6804 3332 E-mail:sales@? ? 单晶硅准方片技术规格 ? ? 编号 NO. 项目 规格 单位 UNITS ITEMS SPECIFICATIONS 1 拉制方式 CZ ? Growing Method 2 材 料 单晶硅 ? Material Monocrystalline Silicon 3 导电类型掺杂剂 P/B or P/Ga ? Type Dopant 4 硅片尺寸 125*125±0.5 156*156±0.5 mm Wafer Size （见附图1） (See Figure 1) 5 直径 150±0.5 200±0.5 mm Diameter 6 垂直度 90±0.3 ° Perpendicularity 7 厚 度 200±20 μm Thickness 8 总厚度变化 ≤ 30 μm TTV 9 电阻率 A: 0.5 ≤ ρ 3? B: 3 ≤ ρ 6 Ω·cm Resistivity 10 少子寿命 ≥ 10 μs Mino