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第4章 电容式传感器 电容式传感器：将非电量转换成电容量，进而实现非电量到电量的转化的器件或装置。 差动的好处 灵敏度得到一倍的改善 一、 调频测量电路 　　把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分，当输入量导致电容量发生变化时，振荡器的振荡频率就发生变化。 　　可将频率作为输出量用以判断被测非电量的大小，但此时系统是非线性的，不易校正，因此必须加入鉴频器，将频率的变化转换为电压振幅的变化，经过放大就可以用仪器指示或记录仪记录下来。 如果传感器是一只平板电容, 则Cx =εA/d, 代入上式有 2.交流电桥 交流电桥采用交流激励电压。电桥的四个臂可为电感、电容或电阻。 电桥平衡条件 把各阻抗用指数式表示 代入上式 交流电桥平衡条件 交流电桥平衡必须满足两个条件： 其中， 为各阻抗的模； 为阻抗角。 阻抗角是各桥臂电流与电压之间的相位差。 纯电阻时电流与电压同相位，φ=0； 电感性阻抗，φ0； 电容性阻抗，φ0。 电容电桥平衡条件 平衡条件 要使电桥达到平衡，必须同时调节电阻与电容两个参数，即调节电阻达到平衡，调节电容达到平衡 特点： ①高频交流正弦波供电； ②电桥输出调幅波，要求其电源电压波动极小，需采用稳幅、稳频等措施； ③通常处于不平衡工作状态，所以传感器必须工作在平衡位置附近，否则电桥非线性增大，且在要求精度高的场合应采用自动平衡电桥； ④输出阻抗很高，输出电压低，必须后接高输入阻抗、高放大倍数的处理电路。 §4.3 电容传感器的误差分析 一、等效电路 （1）增加传感器原始电容值　　 采用减小极片或极筒间的间距，增加工作面积或工作长度来增加原始电容值，但受加工及装配工艺、精度、示值范围、击穿电压、结构等限制。 　 当电容式传感器的电容值很小，而因某些原因(如环境温度较高)，测量电路只能与传感器分开时，可采用“驱动电缆”技术。 传感器与测量电路前置级间的引线为双屏蔽层电缆，其内屏蔽层与信号传输线(即电缆芯线)通过1:1放大器成为等电位，从而消除了芯线与内屏蔽层之间的电容。 采用这种技术可使电缆线长达10m之远也不影响仪器的性能。 （5）采用运算放大器法 图中电容传感器的一个电极经电缆芯线接运算放大器的虚地Σ点,电缆的屏蔽层接仪器地,这时与传感器电容相并联的为等效电缆电容C/(1＋A)，因而大大地减小了电缆电容的影响。 外界干扰因屏蔽层接仪器地，对芯线不起作用。 （6）整体屏蔽法　　 将电容式传感器和所采用的转换电路、传输电缆等用同一个屏蔽壳屏蔽起来，正确选取接地点可减小寄生电容的影响和防止外界的干扰。 1、屏蔽和接地。传感器壳体、导线、传感器与测量电路前置级等的屏蔽和接地。 2、增加原始电容量，降低容抗。 3、导线和导线之间要离得远，线要尽可能短，最好成直角排列，若必须平行排列时，可采用同轴屏蔽电缆线。 4、尽可能一点接地，避免多点接地。地线要用粗的良导体或宽印制线。 5、采用差动式电容传感器，减小非线性误差，提高传感器灵敏度，减小寄生电容的影响和温度、湿度等误差。 §4.4 电容式传感器的医学应用 一、电容式压力传感器与血压测量 二、直流极化型电容式传感器与呼吸测量 三、电容式位置传感器与心电图测量 触摸屏 工作原理：当用户触摸电容屏时，由于人体电场，用户手指和工作面形成一个耦合电容，因为工作面上接有高频信号，于是手指吸收走一个很小的电流，这个电流分别从屏的四个角上的电极中流出，且理论上流经四个电极的电流与手指头到四角的距离成比例，控制器通过对四个电流比例的精密计算，得出位置。 1、适当减小极间距，增加覆盖面，可减小边缘效应的影响，但可能击穿，限制测量范围。 2、电极做成极薄使之与极间距相比很小，可减小边缘电场的影响。 3、在结构上增设等位环来消除边缘效应。 二、边缘效应 带有等位环的平板电容 传感器结构原理图 均匀电场 1 2 3 3 边缘电场 寄生电容与传感器电容相并联，影响传感器灵敏度，而它的变化影响仪器的精度，必须消除和减小它。可采用方法： 三、寄生与分布电容 （1）增加传感器原始电容值； （2）注意传感器的接地和屏蔽； （3）集成化； （4）采用“驱动电缆” 法； （5）采用运算放大器； （6）整体屏蔽法； 可动极筒与连杆固定在一起随被测量移动。可动极筒与传感器的屏蔽壳同为地，当可动极筒移动时，固定极筒与屏蔽壳之间的电容值将保持不变。 （2）注意传感器的接地和屏蔽 绝缘体 屏蔽壳 固定极筒 可动极筒 连杆 导杆 接地