蒸镀机操作流程.docVIP

E-Gun操作流程 STEP 1 : 使用前先檢查: 側邊四台除濕機倒水 管線有無冷凝水如有冷凝水則要擦乾防止漏電 CP cryo pump 溫度 10K 腔體溫度 37度 小白板上是否有異常狀況通知或是有他人尚在使用 使用紀錄本，確認上一個使用者的使用情形 冷卻水溫度在23度正負3度之內 氮氣瓶，確認是否仍有存量 STEP 2: 破真空 進入製程 密碼 抽氣流程 按下V4 反黑即代表閥門打開 開氣瓶N2瓶身有黃色的字 綠色管線，上有標註為E-gun ，總閥先開 右手定則:逆時針-開 ，流量閥開至藍線刻度以內 破真空至7*102 torr 即可開腔門 關氣瓶，並填寫紀錄本 STEP 3: 清潔腔體 使用wafer夾清潔側擋板及上面的擋板 刮除附著金屬 氣槍與吸塵器共同清潔 使用酒精與無塵紙擦拭腔體，擋板 O ring以及腔門與O ring接觸的位置不可擦 STEP 4 : 放置靶材與試片 破片確實固定在載片上 黏的方式及真空膠，銅膠使用方式 石墨墊片、坩鍋、靶材對應放置 先去化學室防潮箱借靶材及登記，注意坩鍋內靶材量是否足夠本次製程 設定使用金屬種類、欲鍍厚度等參數 預轉坩鍋檢查是否會卡鍋、 檢查、 檢查、石墨震盪片 關腔門 系統自動抽真空:先MP抽至10-3 torr，再CP往下抽至2*10-6torr 抽至CP啟動時可離開請留資料在小白板上，離開前要退出控制面板，資料為 姓名、目前狀況例:抽氣中、手機聯絡方式及開始時間 STEP 5: 製程開始 結束 預先開power 暖機15mins 五燈全亮即可開始製程 ZERO:漏電流檢查、WATER:冷卻水檢查、DOORS:3道腔門檢查、VACUUM:真空度檢查1.9*10-6 torr 、READY:前四項皆OK即亮起 控制面板按下 下的 ，之後警報聲響起 此屬正常，請至異常顯示下將警報關閉 調整電子束均勻融靶 2階段升power : rise to soak time soak time rise to predisposition time prediposition time 達到設定power 擋板打開 製程開始 將電子束調整至靶材中心 填寫紀錄本紀錄: power，current，鍍率，tooling factor，石英震盪片健康度改變，記錄時間為當厚度已達到欲鍍厚度的一半。 7. 製程結束 警報聲響起，控制面板按下 下的 8. 等15分鐘後再關閉電子槍的power，而37度如果高於37度則要等其 確實降溫後，才可通N2破真空開腔門。 附註: 當同一製程需進行兩種金屬鍍膜時: 1. 此兩種金屬在同一個電子槍源時 : 當第一層金屬鍍完後，等15分鐘讓power休息。再打第二層金屬。 2. 此兩種金屬在兩個不同電子槍時 : 當第一層金屬鍍完後，等15分鐘讓power休息再關掉power。記 得將蒸鍍源更改後，再開第二支槍的power之後進行一般製程順序。 STEP 6: 再次清潔腔體 擋板與側擋板上的金屬需刮除乾淨且用吸塵器回收 酒精+無塵紙擦拭 吸塵器清潔 同STEP 3 清潔後關閉腔門，退出控制面板，等CP開始抽氣才可以離開