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三氟化氮萃取精馏纯化
三氟化氮萃取精馏纯化
NF3在常温下是常压下是一种无色，有特异腐烂味，无毒又不燃的气体，相对分子质量为71.00，熔点为-206.8℃，沸点-129℃；密度1554kg/cm3。液体微带黄色，在350℃条件下分解为氟气和氮气，常用于半导体工艺中代替氟气和氟化物，一般作为刻蚀剂。初级三氟化氮以后氟和氨直接化合；也可以用氟氢化氨熔融盐电解法，粗制的NF3含有CF4，N2，O2，CO2，CON2F4，C2F6，SF6，N2O等杂质。这些杂质最难除去的是与NF3沸点接的CF4，方法采用哦氧化亚氮作为萃取剂，在低温条件下与NF3反应生成供“溶”物，达到与CF4分离的目的。
三氟化氮必须经过纯化后才能在半导体工艺中使用。最近十几年，美、日、韩、俄等国和中国都申报了三氟化氮提纯工艺专利，以下选择三种方法介绍。
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