MOCVD组成.docxVIP

中文关键词 关键词 源供给、输运和尾气处理系统 源供给系统 氢化物源供给系统 气体纯化器、鼓泡（器）、钢瓶、恒温（装置）、质量流量控制计MFC,压力控制器PC、（水浴）恒温槽thormal bath、充抽与测漏管道、进气、旁路（系统）、蝶形阀、溢流阀、电磁阀 过滤器、不锈钢丝网、活性炭、真空泵、气体洗涤器、加热炉、裂解炉、燃烧室、排气、尾气、清洗 MO源供给系统 输送管路系统 三族源Run/vent输送系统 五族源Run/vent输送系统 Run/vent进腔体管路系统 Run/vent选择开关 Run/vent主管路 吹扫管路系统 光学探头吹扫 腔体侧壁吹扫 加热器吹扫 喷淋头吹扫 载片台周边吹扫 泄露检测系统 尾气处理系统 湿法系统 吸附系统 加热系统 反应室和加热系统 反应腔 立式 喷（淋、口、孔、头、盘）、均匀、层流、石英（管）、钢（腔）、反应（室、腔、器）、装片、卸片、两路气流、分离气路、三路气流分离 卧式 桶式 扁平式 转盘式 冷却系统 喷淋腔壁冷却 （水、气）冷却 气体流道冷却 尾气冷却 加热器电极冷却 腔体中心管冷却 加热系统 感应加热 石墨（基座、石墨舟）、加热（射频、红外辐射、电阻）、热偶、衬托、托盘、支撑、支杆、转动机构、电磁场、温度场、温度分布、流场、气压、流速 电阻加热 电阻丝 电阻片 红外辐射加热 自动控制系统 温度控制 自动系统、控制系统、控制装置