扫描探针显微镜-刘东.ppt

扫描探针显微镜 SPM的特点 原子级高分辨率 ； 实空间中表面的三维图像 ； 观察单个原子层的局部表面结构 ; 可在真空、大气、常温等不同环境下工作; 可以得到有关表面结构的信息，例如表面不同层次的态密度、表面电子阱、电荷密度波、表面势垒的变化和能隙结构等 。 SPM分类 扫描隧道显微镜 (scanning tunneling microscope) 扫描隧道显微镜 STM 扫描隧道显微镜(scanning tunneling microscope) 1982年，Gerd Binning及其合作者在IBM公司苏黎世实验室共同研制成功了第一台 ，因此获得1986 年的诺贝尔物理奖 。 STM是通过检测隧道电流来反映样品表面形貌和结构的。 美国商用机器公司利用STM直接操作原子，成功地在Ni上，按自己的意志安排原子合成IBM 字样。 扫描隧道显微镜的原理结构 极细探针与研究物质作为两个探极。 对于经典物理学来说，当一个粒子的动能E低于前方势垒的高度V0时，它不可能越过此势垒，即透射系数等于零； 而按量子力学的计算，在一般情况下，其透射系数不等于零，也就是说，粒子可以穿过比它能量更高的势垒，这种现象称为隧道效应。 穿过的概率和距离有关，距离越近，穿过的几率越大。当两个电极相距在几个原子大小的范围时，电子能从一极到达另一极，几率和两极的间距成指数反比关系。 （2）隧道电流 扫描隧道显微镜是将原子线度的探针和样品表面作为两个电极，当样品和针尖的距离非常接近时（通常小于1nm），在外加电场的作用下，电子会穿过两电极之间的势垒流向另一电极，从而形成隧道电流。因此，STM图像是样品表面原子几何结构和电子结构的综合效应的结果。 由上式可知，隧道电流I对针尖和样品之间的距离S有着指数的依赖关系，距离S每减小0.1nm，隧道电流就增加一个数量级。 如果利用电子反馈线路控制隧道电流恒定不变，当针尖在样品表面扫描时，探针就会随样品表面高度的变化而上下波动，将这种高度的变化记录下来就得到样品的表面形貌，这就是STM的工作原理。 STM的工作原理示意图 扫描模式 恒电流模式：适用于观察表面形貌起伏较大的样品。 恒高度模式：扫描速度快，减少噪音等，不能用于观察表面起伏大于1nm 的样品。 隧道针尖 STM技术中的主要问题。针尖尺寸、形状及化学同一性不仅影响分辨率还关系电子结构测量。 钨针尖的制备：电化学腐蚀方法 铂铱合金针尖的制备：1）两步电化学腐蚀法；2）机械成形法；3）剪切法 压电陶瓷步进马达扫描控制器 压电现象：某种晶体机械力—形变——电场——x，y，z扫描控制器件。 压电陶瓷材料：极化处理 振动隔绝系统 工作针尖与样品间距小于1nm，隧道电流与间距成指数关系。 恒流模式中，表面起伏通常为0.01nm，振动引起小于0.001nm。 STM减震系统设计主要考虑低频：1-100HZ 防振：1.提高仪器的固有振动频率。 2.使用振动阻尼系统。 实验操作与进行： 一.针尖的制作： 二.针尖的安装： 三.实验设置：扫描模式、扫描范围、隧道电流、偏置电压、反馈电压、放大、增益。 四.逼近隧道区（隧道电流） 五.扫描：观察图象、调整电流、偏压等。 STM应用 金属和半导体表面的STM研究： 研究表面上发生的物理与化学过程。 物理现象：晶体生长过程、表面物质沉积过程。 表面化学反应。 Fe原子在Cu基板上原子像 原子 / 分子 搬运 STM的局限性与发展 1.在恒电流模式下，样品表面微粒之间的沟槽不能够准确探测。恒高模式下，需采用非常尖锐的探针。 2.样品必须具有一定程度的导电性。 STM基础上发展的各种新型显微镜 原子力显微镜（AFM）、激光力显微镜（LFM）、摩擦力显微镜、磁力显微镜（MFM）、静电力显微镜、扫描热显微镜、弹道电子发射显微镜（BEEM）、扫描隧道电位仪（STP）、扫描离子电导显微镜（SICM）、扫描近场光学显微镜（SNOM）和扫描超声显微镜等。 探索物质表面或界面的特性，如表面不同部位的磁场、静电场、热量损失、离子流量、表面摩擦力以及在扩大可测量样品的范围等方面提供了有力的工具。 原子力显微镜 (Atomic Force Microscopy, AFM) 原子力显微镜AFM 原子力显微镜(Atomic Force Microscopy, AFM) 1986年，诺贝尔奖金获得者宾尼等人发明。 不仅可观察导体和半导体表面形貌，且可观察非导体表面形貌，弥补STM只能观察导体和半导体不足。 许多实用的材料或感光的样品不导电，AFM出现引起科学界普遍重视。 第一台AFM的横向分辨率仅为30 ?，而1987年斯坦福大学Quate等报道他们的AFM达到原子级分