第3章压力检测教案.ppt

1 第3章 压力检测 3.高分子压电电缆 本章学习要求： 1.理解压力的概念。 2.掌握应变式、压电式、电容式、霍尔式压力传感器的 工作原理、测量方法及应用、误差分析及补偿等。 3.了解其它压力传感器。 1.工程大气压( kgf/cm2 ,符号at ) ： 1kg力垂直作用在1cm2面积上产生的压力。 2.标准大气压(atm) ： 维度450的海平面上0℃时的平均大气压力。 3.约定毫米汞柱(mmHg) ： 0℃时1mm高的水银柱在1cm2底面上产生的压力。 4.约定毫米水柱(mmH2O)： 4℃时1mm高的水柱在1cm2底面上产生的压力。 三、电气式压力传感器的类别 应变式 压电式 电容式 霍尔式 电位器式 电感式 振弦式等 应变：物体在外部压力或拉力作用下发生形变的现象。 3.2.1 电阻应变效应 受力后：若在拉力作用下，应变电阻栅随弹性元件变化产生伸长变形ΔL，由于长度L变长，电阻丝截面积S将缩小。上述两种变形将使得电阻栅每段电阻丝的电阻产生变化。 3.2.2 电阻应变片 定义: 能将机械构件上的应变转换为电阻变化的传感元件。 一、金属电阻应变片 常见形式：金属丝式、箔式、薄膜式等。丝式应变片是最早应 用的品种。 半导体应变片特点 优点: 灵敏度高。比金属应变片的灵敏度约大50～100倍。 体积小，耗电省。 机械滞后小，可测量静态应变、低频应变等。 缺点： 非线性严重。 3.2.3 转换电路应变片R1将被测试件的应变ε转换成电阻的相对变化ΔR1/R1，还需进一步转换成电压或电流信号才能用电测仪表测量。 由图中可知： 设R1为电桥工作臂, R2、R3 、R4均为固定桥臂。 起始状态， ,电桥平衡，此时U0=Usc=0。 当n=1时，电桥电压灵敏度最高。单臂工作电桥输出电压和 灵敏度为： 在试件上安装两个工作应变片，一个受拉力，一个受压力，接入电桥相邻桥臂，称为半桥电路，该电桥输出电压为： 若ΔR1=ΔR2, R1=R2, R3=R4, 又称为差分电桥，输出电压 和灵敏度为： 3.全桥电路 在试件上安装四个工作应变片，两个受拉应变，两个受 压应变，将两个应变符号相同的接入相对桥臂上，构成全桥 差动电路。 若ΔR1=ΔR2=ΔR3=ΔR4，且R1=R2=R3=R4，则输出电压和 灵敏度为： 3.2.4 电阻应变片的粘贴及温度补偿 一、应变片的粘贴 粘合剂的性能及粘合工艺的质量影响应变片的工作特性。 要选择合适的粘合剂和正确的粘结工艺。 1.对粘合剂要求: (1) 有一定的粘结强度。 (2) 能准确传递应变。 (3) 蠕变小。 (4) 机械滞后小。 (5) 耐疲劳性能好。 (6) 具有足够的稳定性能。 (7) 对弹性元件和应变片不产生化学腐蚀作用。 (8) 有适当的储存期。 (9) 应有较大的温度使用范围。 二、温度误差及其补偿 1.电桥补偿法 工作片、补偿片贴在同一试件上，两者感受的应变符号相反。 3.3 薄膜应变片 薄膜技术 薄膜技术是在一定的基底上，用真空蒸镀、溅射等工艺技术加工成零点几微米至几微米的金属、半导体或氧化物薄膜的技术。这些薄膜可以加工成各种梁、桥、膜等微型弹性元件，也可加工为转换元件，在传感器的研制中得到了广泛应用。 真空蒸镀 在真空室内，将待蒸发的材料置于钨丝制成的加热器上加热，当真空度抽到0.0133Pa以上时，加大钨丝的加热电流，使材料融化，继续加大电流使材料蒸发，在基底上凝聚成膜。 溅射 在低真空室中，将待溅射物制成靶置于阴极，用高压（通常在1000V以上）使惰性气体电离形成等离子体，等离子中的正离子以高能量轰击靶面，使待溅射物的原子离开靶面，淀积到阳极工作台上的基片上，形成薄膜。 压电式传感器:以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质的表面上产生电荷，从而实现非电量测量。 1.指套式电子血压计 2.压电式玻璃破碎报警器 正压电效应： 某些电介质在沿着一定方向受到压力或拉力作用时发生形变，并且在其一定表面会产生电荷，若将外力去掉，它们又重新回到不带电状态的现象。当作用力方向改变时，电荷极性也随着改变。 一、石英晶体的压电效应 光轴（Z轴）：纵向轴，光沿该方向通过没有双折射现象。光学方法确定。 →没有压电效应 1. X轴方向受力 纵向压电效应 2. Y轴方向受力 横向压电效应 3.压电效应