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光学轮廓仪设备参数
光学轮廓仪技术指标
1. 系统配置及功能
1.1 PSI 相位移测试模式）
1.2 VSI 垂直方向扫描测试模式
2. 不同放大倍率物镜：2.5X、10X、50X
3. 气浮防震平台，一体化设计，保证最好的测试条件
4. 200mm 全自动样品台，可程序化控制，样品可容纳大于300mm
5. 可装配4个物镜的全自动物镜切换塔台，通过软件全自动更换物镜
6. 可装配3个目镜的全自动物镜切换塔台，通过软件全自动更换物镜
7. 双ＬＥＤ光源，分别有白光和绿光光源，此设计能够避免使用绿光光源时，使用滤镜的方式产生系统误差．
8. 全自动调整干涉条纹9. 大面积缝合功能软件
10. 噪音：RMS 0.3 ? 垂直方向 ，框架式结构
11. Z方向测试范围0.1nm 到10mm
12. Z方向分辨率0.01nm Ra，RMS重现性0.004nmss
13. 样品反光率 1 to 100%
14. 垂直方向扫描速度 92.5微米/秒
15. 倾斜调制范围，±6°（Tip/Tilt in the Head光学测量头整体调节）
16. 闭环控制扫描：0.1nm 到10mm 全范围实现闭环扫描，而非压电陶瓷垂直方向拼接方式，能够保证扫描的全范围精度．
17. 自校准功能: 提供激光参比信号,实现仪器自校准,提高重复性，此设计能够使得在测量过程中，具有可溯源装置，保证每个量程的精度，而非在某个量程的校准方式．
18. 提供具备证书的标准样品：PSI 模式光滑平面 （SIC）
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