3.3电涡流式传感器详解.ppt

* 3.3 电涡流式传感器 当导体置于变化的磁场中或在固定磁场中运动时，导体内都要产生感应电动势形成电流，这种电流在导体内闭合的，称为涡流。 穿透深度 式中, ρ——导体电阻率(Ω·cm)； ?r——导体相对磁导率； ? ——交变磁场频率(Hz)。 电涡流式传感器 3.3.1 高频反射式涡流传感器 3.3.2 低频透射式涡流传感器 3.3.3 涡流式传感器的应用 3.3.1 高频反射式涡流传感器 1. 基本原理 2．等效电路 3. 传感器的结构 4. 测量电路 1. 基本原理 线圈置于金属导体附近： 线圈中通以高频信号 i1 正弦交变磁场 H1 金属导体内就会产生涡流 涡流产生电磁场 反作用于线圈，改变了电感 电感变化程度取于线圈L的外形尺寸，线圈L至金属板之间的距离， 金属板材料的电阻率和磁导率以及的频率等 2． 等效电路 电感LE表示金属板对涡流呈现的电感效应 电阻RE表示在金属板上的涡流损耗 互感系数M表示LE与原线圈L之间的相互作用 R为原线圈L的损耗电阻 C为线圈与装置的分布电容 考虑到涡流的反射作用，L两端的阻抗ZL可用下式表示 式中,ω——信号源的角频率； K——耦合系数， K2=M2／(L·LE)。 频率 （MHZ） 感抗 电阻RE 1 0.1 0.002 0.02 10 1.0 0.0063 0.063 100 10.0 0.02 0.2 表3.4.1 不同频率时的感抗分量与电阻分量 计算邻近高频线圈的金属板呈现的电感效应与涡流损耗之间 的数量关系可以进行估计。 金属板对涡流呈现的电感效应可以用许多大小不同的电感线圈 按一定方式结合起来的总效应来等效。 由于RωLE则式(3.4.2)可以简化为 ZL的虚部与金属板的电阻率无关，而仅与耦合系数K有关， 即仅与线圈至金属板之间的距离有关 在实际条件下，即K1，并有RωLE 可以认为式(3.4.2)在特定条件下 (测量信号频率较高，金属板电阻率较小且变化范围不大) 存在着以下的关系 3. 传感器的结构 线圈 框架 3．框架衬套 4． 支架 5．电缆 6．插头 4. 测量电路 定频测距电路 调频测距电路 定频测距电路 将L—x的关系转换成U—x。的关系。 通过检波电压U的测量，就可以确定距离x的大小。 这里U—x，曲线与金属板电阻率的变化无关。 若去掉金属板，则L=L∞(即x趋于∞时的L值)。 如果在保持幅值不变的情况下，改变正弦振荡器的频率， 则可以得到U—曲线，即传感器回路的并联谐振曲线 谐振频率为 有金属板时，设振荡器的频率为f0。 若改变金属板与传感器之间的距离x，则U—x曲线 当x足够大时(此时L=L∞，U=U∞)，回路处于并联谐振状态。 调频测距电路 当传感器线圈与被测物体间的距离x变化时， 引起线圈的电感量L发生变化，从而使振荡器的频率改变， 然后通过鉴频器将频率变化再变成电压输出。 调频式测量电路图 电容三点式振荡器 射极输出器 传感器输出电缆的分布电容的影响不能忽视的。 钢板 铜板 电涡流式传感器 3.4.1 高频反射式涡流传感器 3.4.2 低频透射式涡流传感器 3.4.3 涡流式传感器的应用 3.3.2 低频透射式涡流传感器 透射式涡流传感器原理 线圈感应电势与厚度关系曲线 测厚的依据: E的大小间接反映了M的厚度t 当选用不同的测试频率时，渗透深度Q渗的值是不同的， 从而使E—t曲线的形状发生变化。 在t较小的情况下，Qs3曲线的斜率大于Qs1曲线的斜率； 而在t较大的情况下， Qs1曲线的斜率大于Qs3曲线的斜率。 测量薄板时应选较高的频率，测量厚材时应选较低的频率。 测试频率与材料关系 对于一定的测试频率，当被测材料的电阻率不同时，渗透深度Q渗的值也不相同，于是又引起E－t曲线形状的变化，为使测量不同的材料时所得到的曲线形状相近，就需在变动ρ时保持Q不变，这时应该相应地改变f。 测较小的材料(如紫铜)时，选用较低的f(500Hz)而测较大的材料(如黄铜、铝)时，则选用较高的f (2KHz)，从而保证传感器在测量不同材料时的线性度和灵敏度。 电涡流式传感器 3.4.1 高频反射式涡流传感器 3.4.2 低频透射式涡流传感器 3.4.3 涡流式传感器的应用 3.3.3 涡流式传感器的应用 被 测 参 数 变 换 量 特 征 位移、厚度、振动 （1）?????? 非接触测量，连续测量