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- 2016-10-21 发布于浙江
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一、课程设计的内容
设计一个均匀掺杂的pnp型双极晶体管,使T=300K时,hfe=80。BVCBO=60V.晶体管工作于小注入条件下,设计时应尽量减小基区宽度调制效应的影响
二、课程设计的要求与数据
1.了解晶体管设计的一般步骤和设计原则
2.根据设计指标设计材料参数,包括发射区、基区和集电区掺杂浓度NE, NB,和NC, 根据各区的掺杂浓度确定少子的扩散系数,迁移率,扩散长度和寿命等。
3.根据主要参数的设计指标确定器件的纵向结构参数,包括集电区厚度Wc,基本宽度Wb,发射区宽度We和扩散结深Xjc, 发射结结深Xje等。
4.根据扩散结深Xjc, 发射结结深Xje等确定基区和发射区预扩散和再扩散的扩散温度和扩散时间;由扩散时间确定氧化层的氧化温度、氧化厚度和氧化时间。
5.根据设计指标确定器件的图形结构,设计器件的图形尺寸,绘制出基区、发射区和金属接触孔的光刻版图。
6. 根据现有工艺条件,制定详细的工艺实施方案。
7.撰写设计报告
三、课程设计应完成的工作
1. 材料参数设计
2.晶体管纵向结构设计
3.晶体管的横向结构设计(设计光刻基区、发射区和金属化的掩膜版图形)
4.工艺参数设计和工艺操作步骤
5.总结工艺流程和工艺参数
6. 写设计报告
四、课程设计进程安排
序号 设计各阶段内容 地点 起止日期 1 教师布置设计任务,讲解设计要求和方法 教1-40
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