《薄膜光学与技术》2014期末考试试题B-答案.docVIP

2014-2015学年第1学期《薄膜光学与技术》期末考试试题（B卷） 参考答案及评分标准 填空题（每空1分，共25分） 1、薄膜是指附着于基底，且与基底不同质的 非自持性 涂层。 2、镀制单层介质薄膜时，第二次看到相同的反射色时的膜层光学厚度是第一次看到相同的反射色时膜层光学厚度的 3 倍。 3、K9玻璃上的单层MgF2膜层与单层ZrO2膜层具有相同的反射色调时，MgF2膜层的光学厚度 等于 （大于、小于、等于）ZrO2膜层的光学厚度。 4、在折射率为3.5的材料表面镀单层减反射膜，材料最佳的折射率为： 1.8708 。 5、周期性对称膜系(pqp)s的等效折射率和 基本周期/pqp 的等效折射率完全相同，其等效位相厚度等于 基本周期的s倍 。 6、按照材料状态不同，一般将薄膜分为 固体 薄膜、 气体 薄膜和 液体 薄膜三类。 7、 Torr和Pa是两个常用来表示真空度的单位，它们较为准确的换算关系为： 1Torr=133.3Pa 。 8、镀膜室内真空度高表明气体压强 小 ，真空度低则气体压强 大 。 9、由于极值点的判读精度不高，因此常常采用 过正控制 、 高级次监控 、 预镀监控片 等措施来提高极值法监控精度。 10、电子枪的e型枪是指电子束 出射后的运动方向改变了270度 。 11、请写出常用的三种金属镀膜材料： Au 、 Ag 、 Al 。 12、一般镀膜系统测量真空需要两个真空计： 热电偶 真空计和 电离 真空计。 13、采用光电极值法监控膜厚，监控片为K9玻璃（折射率为1.52），如果要镀制单层ZnS薄膜（折射率为2.35），监控的第一个透射率极值点应该是极大值还是极小值： 极小值 。 14、能够直接用来抽大气的真空泵是 机械泵 。 15、热蒸发技术常用的蒸发源有 电阻蒸发源 和 电子枪 。 二、判断题：先回答以下说法是否正确？然后说明理由或修改正确。（每题4分，共20分） 1、膜层的有效位相厚度表示为： ，当光波斜入射时，对于s光和p光而言，要分别代入修正后的折射率值进行运算。 答：错误。当光波斜入射时，无论对于s光和p光而言，折射率值均是同一个值。 、采用单半波滤光片结构，获得的通带波形比多半波滤光片更加接近矩形。 采用多半波滤光片结构，获得的通带波形比单半波滤光片更加接近矩形。、一般镀膜设备上机械泵和扩散泵作为真空机组，这主要是因为双泵组合可以提高抽气速率。 4、用于离子辅助镀膜的离子源，有产生离子束的，也有产生等离子体的。潘宁离子源是一种典型的产生等离子体的离子源。 答：错误。潘宁离子源是一种典型的产生离子束的离子源。 5、测量镀膜样片的透射率时，将镀膜面向着光源和背对光源测得的结果不同。 答：错误。样片的透射率与光的传播方向无关。 注：正误回答正确得2分，理由正确得2分。 三、问答题 （每题5分，共15分） 1、什么是单层介质膜层反射率的双重周期性？其周期性的主要特点有哪些? 答：单层介质膜的反射率会随着薄膜位相厚度的变化而呈现周期性变化（2分）；当膜厚确定后，随着光波波长的变化，反射率会随之发生周期性变化（2分）。随厚度变化的周期呈现间隔相等，而随波长变化的周期不等，波长越大，周期越长。如将波长转化为光波频率，则随频率不同，反射率的周期是等间隔的（1分）。 说明：周期性每正确一点2分，特点回答正确1分。 2、试叙述光电极值法监控膜厚的基本原理。 答：光通过正在镀膜的比较片时，随着薄膜厚度的增加，比较片的透射率（反射率）会发生周期性的变化，且薄膜光学厚度每变化λ/4时，透射率出现一次极值（3分）。利用光电测光方法测量正在镀制膜层的T或R随膜层厚度增加过程中的极值个数，可以获得以λ/4为单位的整数厚度的膜层（2分）。 3、影响膜层厚度均匀性的主要因素有哪些？ 答：蒸发源发射特性，由蒸发源结构、蒸发膜料不同的发射分布特性引起（3分）；蒸发源与被镀件的相对位置；被镀件的面形（2分）。 计算题（1、2题各10分，第3题20分，共40分） 1、已知，窄带滤光膜系GHLHLHLHLH2LHLHLHLHA的峰值透射率是多少？ 解：根据2H或2L为虚设层的特点，膜系可以等效为GHLG结构， （2分） 组合导纳 （3分） 膜系中可以看出，入射介质为，因此反射率为 （3分） 所以，膜系的透射率最终为 （2分） 说明：计算结果正确