《薄膜光学与技术》2012期末考试试题A-答案.docVIP

2012-2013学年第学期《薄膜光学与技术》期末考试试题A卷） 参考答案及评分标准 填空题 （每空1分，共2分） 、在折射率为3.5的基底表面镀单层减反射膜，对于00nm的光波，最佳效果的折射率为： ，需要镀制的薄膜光学厚度为 nm。 、若薄膜的折射率为n，光线在薄膜内的折射角为θ，则s、p光的修正导纳分别为 θ 、θ 。、对于波长λ的光来说，单层膜的光学厚度每增加 λ ，薄膜的反射率就会出现一次极值变化。当薄膜的折射率小于基底折射率时，出现的第一个反射率极值是 极小 （极大、极小）值。 、虚设层的形成条件是： 。 、周期性对称膜系(pqp)s的等效折射率和 的等效折射率完全相同，其等效位相厚度等于 。 6、λ0/4，基底的折射率为ns，那么，该单层膜与基底的组合导纳为： 7、、热偶真空规是通过测量温度达到间接测量 的目的。 、镀膜室内真空度高表明气体压强 小 ，真空度低则气体压强 大 。10、薄膜几何厚度的监控通常用 膜厚仪来实现，光学厚度常常采用 膜厚仪来监控。 1、采用PVD技术制造薄膜器件时，薄膜折射率的误差主要来自三个方面： 、 、 。 1、改善膜层厚度均匀性的措施包括 和 。 1、采用光电极值法监控膜厚，如果需要镀制光学厚度为900nm的薄膜，在500-700nm范围内，可以选取的监控波长为 和 nm。二、题：先回答以下说法是否正确？然后说明理由或修改正确。（15分） 1、膜层的有效位相厚度表示为： ，当光波斜入射时，对于s光和p光而言，要分别入进行运算。膜层的有效位相厚度表示为： ，当光波斜入射时，对于s光和p光而言，2、3、测量镀膜样片的透射率时，将镀膜面向着光源和背对光源测得的结果相同。 4、膜系G/M2HLHLHL/A中，低折射率膜层的几何厚度均为。 答：错误。膜系中，低折射率膜层的光学厚度均为。、PVD真空镀膜机的真空系统，一般需要一台扩散泵就可以完成抽气过程。 答：错误。要达到PVD镀膜的真空度，一般需要机械泵（低真空泵）和扩散泵（高真空泵）组合抽气才能达到。 三、问答题 （每题7分，共21分） 1、什么是单层介质膜层反射率的双重周期性？其周期性的主要特点有哪些? 答：单层介质膜的反射率会随着薄膜位相厚度的变化而呈现周期性变化（2分）；当膜厚确定后，随着光波波长的变化，反射率会随之发生周期性变化（2分）。随厚度变化的周期呈现间隔相等，而随波长变化的周期不等，波长越大，周期越长。如将波长转化为光波频率，则随频率不同，反射率的周期是等间隔的（1分）。 说明：周期性每正确一点2分，特点回答正确1分。 2、在镀膜前与镀膜过程中，常常需要进行离子束轰击，在这两个过程中，离子束辅助的作用是什么？3、极值法监控膜厚有哪些技巧，请简要说明。 λ/4确定的波长稍微短一点的波长作为监控波长，允许T或R有一定的过正量，让停镀点避开极值点（3分）；高级次监控，增大T或R的变化总幅度，减小T或R的相对判断误差，提高膜层厚度的控制精度（2分）；预镀比较片，是通过提高监控片的等效导纳，增大T或R的变化总幅度，减小了T或R的相对判断误差（2分）。 计算题（题1分，共分） 注：计算结果保留到小数点后位。 K9平板玻璃单面镀制单层光学厚度280nm的MgF2膜层后，它对波长1120nm、 560nm的反射率各是多少？光线0°入射，不考虑另一面的影响。（玻璃ng=1.52；薄膜nf=1.38） 解：因为光学厚度280nm是1120nm波长的1/4（1分），因此对1120nm的光波，组合导纳 （2分） 故 （3分） 对于560nm的波长，薄膜光学厚度是波长的1/2，因此相当于虚设层，（1分） （3分） 说明：对1/4波长及虚设层判断正确各1分，3个公式正确各2分，计算结果正确各1分。如果没有分步计算，或没有判断膜层特点，根据其运算及理解程度酌情给分。如果运算完全正确，而没有判断膜层特点，不扣分。 2、石英玻璃基底上镀制高反膜G/(HL)5H/A，若镀膜材料为ZnS和MgF2，求峰值反射率和中心波长处反射带的波长宽度？（中心波长500nm；ZnS折射率为2.15；MgF2折射率为1.38；玻璃ng=1.46） 解：组合导纳为 （2分） 峰值反射率