传感器(电容、电感、压电)概要.pptVIP

第三章、传感器测量原理 3.5 磁电式传感器 1.变换原理: 磁电式传感器是把被测量的物理量转换为感应电动势的一种转换器。 感应线圈的感应电动势e为 磁通变化率与磁场强度、磁阻、线圈运动速度有关，改变其中一个因素，都会改变感应电动势。 2 分类 磁电式 动圈式 磁阻式 线速度型 角速度型 N 3.5 磁电式传感器 动圈式传感器 线速度型 3.5 磁电式传感器 角速度型 测速电机 3.5 磁电式传感器 磁阻式传感器 磁电式车速传感器 3.5 磁电式传感器 传感器测量原理 3.3 电容式传感器 变换原理:将被测量的变化转化为电容量变化 两平行极板组成的电容器,它的电容量为: + + + ? A ? δ、A或ε发生变化时，都会引起电容的变化。 3.3 电容式传感器 a)极距δ变化型 + + + + + + 一般变极距型电容式传感器的起始电容在20～ 30 pF之间，极板间距离在25～200μm的范围内，最大位移应小于间距的1/10，故在微位移测量中应用最广。 3.3 电容式传感器 下图是变极距型差动平板式电容传感器结构示意图 当差动式平板电容器动极板位移Δd时，电容器C0的间隙d1变为d0-Δd，电容器C2的间隙d2变为d0+Δd则 非线性误差δ近似为 驻极体电容传声器 3.3 电容式传感器 b)面积变化型 角位移型 + + + 3.3 电容式传感器 平面位移型 柱面线位移型. 3.3 电容式传感器 很明显，这种形式的传感器其电容量C与水平位移Δx是线性关系，因而其量程不受线性范围的限制，适合于测量较大的直线位移和角位移。 c) 介质变化型 3.3 电容式传感器 3.3 电容式传感器 设被测介质的介电常数为ε1，液面高度为h，变换器总高度为H，内筒外径为d，外筒内径为D，则此时变换器电容值为： 式中： ε ——空气介电常数； C0 ——由变换器的基本尺寸决定的初始电容值，即： 可见此变换器的电容增量正比于被测液位高度h。 测量电路 a)电桥电路 3.3 电容式传感器 二极管双T型交流电桥 电路工作原理如下： 当e为正半周时，二极管 导通、 截止，于是电容C1充电；在随后负半周出现时，电容C1上的电荷通过电阻R1、负载电阻RL放电，流过RL的电流为I1。 在负半周内， 导通、 截止，则电容C2充电；在随后出现正半周时，C2通过电阻R2，负载电阻RL放电，流过RL的电流为I2。 根据上面所给的条件，电流I1= I2，且方向相反，在一个周期内流过RL的平均电流为零。 若传感器输入不为0，则C1≠C2 b) 调频测量电路 3.3 电容式传感器 调频测量电路把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分。当输入量导致电容量发生变化时，振荡器的振荡频率就发生变化。 虽然可将频率作为测量系统的输出量，用以判断被测非电量的大小，但此时系统是非线性的，不易校正，因此加入鉴频器，用此鉴频器可调整地非线性特性去补偿其他部分的非线性，并将频率的变化转换为振幅的变化，经过放大就可以用仪器指示或记录仪记录下来。 c) 运算放大器电路 3.3 电容式传感器 图中Cx为电容式传感器， 是交流电源电压， 是输出信号电压，Σ是虚地点。由运算放大器工作原理可得： 如果传感器是一只平板电容，则Cx =εA/d，代入上式有： 上式说明运算放大器的输出电压与极板间距离d线性关系。运算放大器电路解决了单个变极板间距离式电容传感器的非线性问题。 电容式传感器特点： 3.3 电容式传感器 优点： 1.温度稳定性好 电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热极小，影响稳定性甚微。 2.结构简单 电容式传感器结构简单，易于制造，易于保证高的精度，可以做得非常小巧，以实现某些特殊的测量； 3.动态响应好 由于它的可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆赫兹的频率下工作，特别适用于动态测量。 4.灵敏度高 可以做得很灵敏，分辨力高，能测量0.01μm 甚至更小的位移。 电容式传感器特点： 3.3 电容式传感器 缺点： 1.输出阻抗高，负载能力差 电容式传感器的容量受其电极的几何尺寸等限制，一般只有几个皮法到几百皮法，使传感器的输出阻抗很高，尤其当采用音频范围内的交流电源时，输出阻抗高达 ～ Ω。因此传感器的负载能力很差，易受外界干扰影响而产生不稳定现象，严重时甚至无法工作。 2.寄生电容影响大 电容式传感器由于受结构与尺寸的限制，其初始电容量都很小(几pF到几十pF)，而连接传感器和电子线路的引线电缆电容(1～2m导线可达800pF)、电子线路的杂散电容以及传感器内极板与其周围导体构