表面预处理工艺对多元多层硬质薄膜性能的影响综述.doc

开 题 报 告 表面预处理工艺对多元多层硬质 薄膜性能的影响 所属院系： 材料与能源学院 所学专业： 材料学 论文题目: 表面预处理工艺对多元多层 硬质薄膜性能的影响 研究生姓名： 胡 芳 指导教师： 代明江（教授级高工） 开题时间： 2008.12.09 2008 年 10 月 10 日 一、文献综述 1.1 多层膜的概述 1.1.1 多层膜的构成和种类 多层膜(Multilayer films，MLs) 是在单层薄膜基础上发展起来的[1]，是指有两种或两种以上成分或结构不同的薄膜在垂直于薄膜一维方向上交替生长而形成的多层结构[2]。它可以人为设计和制备,从而形成种类繁多，结构各异的一类薄膜材料。薄膜的多层化有利于改善膜层的耐腐蚀性和防止膜层开裂。研究表明,多层膜能获得比单层膜更优越的性能。大量与基体相平行的内界面能起到阻碍裂纹扩展的作用,并且提供位错运动阻力,在增加韧性的同时,镀层的硬度和强度也得以提高[3]。 对于两种不同成分或结构组成的多层膜，每相邻的两层形成一个基本单元，其厚度称为调制周期，用Λ(Λ=lA+lB)表示，调制层A