用于义齿的电容式压力传感器研究-毕业论文设计.docVIP

用于义齿的电容式压力传感器研究 摘要: 本文介绍了一种以MEMS技术为基础的基于义齿压力检测的MEMS电容式压力传感器的研制，它是以电容式压力传感器的原理为基础，采用MEMS技术设计了用于义齿的电容式压力传感器，这是针对临床医疗中新型MEMS压力传感器。 关键词： MEMS;压力传感器;义齿; 一、引言 近年来，随着MEMS技术研究的进一步发展和深入，MEMS器件在生物医学领的应用和研究越来越得到各国研究人员的重视。MEMS器件在生物医学领域中的次应用是70年代，在血压计中采用硅/石英微机械加工的压力传感器，在没有使MEMS压力传感器前，血压计的价格约为600美元，由于MEMS压力传感器的使用，使MEMS压力传感器、软管和阀在内的血压计价格低于了10美元，安全可靠且一性使用，年产量达到17x106只，这种血压计成为MEMS器件进入医疗领域的成功范。另外，利用MEMS还能制作出智能型外科器械，减少手术风险和时间，缩短病人康复时间，降低治疗的费用。Verimetra公司正在利用MEMS把现有手术器械转变成智能型手术器械，可用于多种场合，包括小手术、肿瘤、神经、牙科和胎儿心脏手术等。药物注入是生物医学MEMS另一个可能有巨幅增长潜力的领域。 根据现有的文献检索，在国内，基于义齿压力检测方面的研究目前较少这方面的相关研究报道。在国外，从相关文献来看，到目前为此，取得了一定的成绩，但由于传感