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第4章 电容式传感器 第一节 基本工作原理、结构及特点 一、工作原理 利用电容器的原理，将被测非电量的变化转换为电容量变化的传感器件。 ε：两极板间介质的介电常数； ε0：真空的介电常数， ； εr：两极板间介质的相对介电常数； S：两极板相互覆盖的面积； d：两极板间距离； 一、工作原理 基本类型 极距变化型 （变间距型电容式传感器） 面积变化型（变面积型电容式传感器） 介电常数变化型（变介电常数型电容式传感器） 二、极距变化型 二、极距变化型 二、极距变化型 二、极距变化型 二、极距变化型 三、面积变化型 四、变介电常数型 变介电常数型 1. 平板型线位移传感器 四、变介电常数型 四、变介电常数型 2. 圆筒式液位传感器 同轴圆筒电极 四、变介电常数型 四、变介电常数型 四、变介电常数型 第二节 电容式传感器测量电路 四、二极管T型网路 第三节 电容式传感器的误差分析 一、等效电路 第四节 电容式传感器的医学应用 第4章 电容式传感器 基本工作原理、结构及特点 极距变化型 （变间距型电容式传感器） （牢固掌握） 面积变化型（变面积型电容式传感器） （牢固掌握） 介电常数变化型（变介电常数型电容式传感器）（掌握） 电容式传感器测量电路 电路交流电桥测量电路（掌握概念，了解原理、特点） 运算放大器测量电路（牢固掌握原理、特点，了解其结构） 调频测量电路（掌握概念，掌握原理、特点） 二极管T型网络（掌握概念，掌握原理、特点） 脉冲调制测量电路（掌握概念，了解原理、特点） 电容式传感器的误差分析（了解） 电容式传感器的医学应用（了解） 电源为负半周： D1截止，D2导通 Cx1放电，Cx2充电 当 Cx1 Cx2 ∵ D1，D2特性相同，且R1 R2 在一周期内，流经RL的平均电流为0； 当 Cx1≠Cx2 在一周期内，流经RL的平均电流不为0，有信号输出； 四、二极管T型网路 1. 组成： 两个比较器、双稳态触发器及两个充放电回路； 2.工作过程： 五、脉冲宽度调制电路 A1产生脉冲 初始若a为高电势时：Cx1充电 触发器翻转 a为低电势，b为高电势： Cx2充电， Cx1迅速放电， A2产生脉冲 触发器翻转 双稳态触发器两输出端各产生一宽度受Cx1和Cx2调制的方波信号； T1、T2 : Cx1和Cx2充至Uf需要的时间； 五、脉冲宽度调制电路 解：∵ （1）要使Uo 与x呈正比 Cx C1 CF C2 （2）传感器灵敏度 （3）传感器测量变换系统输出电压灵敏度 等效阻抗 等效电容： C：传感器电容 Rp: 并联损耗电阻 Rs : 串联损耗电阻 Ls : 总电感 Cp：寄生电容 很大 较小 一般 Rp、 Rs的影响可忽略： 总阻抗为： 等效电容 电容的实际相对变化 ① 实际相对电容变化量与转换元件的固有电感有关，应用时需保持电容式传感器的标定和测量在相同条件下进行； ②只有在激励信号频率远离谐振频率时，才能获得电容式传感元件的正常工作； ③电容式传感器的电容C和Ls，一般都很小，在激励信号频率较低时，电容传感元件本身可用纯电容表示； 一、等效电路 为电路的谐振频率 二、边缘效应 实际上当极板厚度h与极距d 之比相对较大时，边缘效应的影响就不能忽略。对极板半径为r的变极距型电容传感器，其电容值应按下式计算： 边缘效应因子表 0.02 0.04 0.06 0.08 0.10 … 1.00 1.20 1.40 0.098 0.168 0.230 0.285 0.335 … 1.390 1.590 1.630 二、边缘效应 减小边缘效应的方法： 1.极板应做得极薄使之与极间距相比很小， 2.可在结构上增设等势环来消除边缘效应。 均匀电场 1 2 3 3 边缘电场 等势环 可动极板 固定 带有等势环的平板电容传感器结构原理图 三、寄生与分布电容 具有随机性的寄生与分布电容的干扰，严重影响传感器的输出特性。消灭寄生与分布电容影响，是电容式传感器实用的关键。 ⑴驱动电缆法 它实际上是一种等电位屏蔽法。在电容传感器与测量电路的前置级之间采用双层屏蔽电缆，并接入增益为1的驱动放大器， 接线如图示 。 这种接线法使内屏蔽与芯线等电位，消除了芯线对内屏蔽的容性漏电，克服了寄生电容的影响。保证电容式传感器的电容值小于1pF时，也能正常工作。 “驱动电缆”技术原理图 测量 电路 前置级 1：1 ＋ － 外屏蔽层 内屏蔽层 芯线 传感器 三、寄生与分布电容 ⑵整体屏蔽法 整体屏蔽法原理图 将电容式传感器和所采用的测量电路、传输电缆等用同一个屏蔽壳屏蔽起来。 三、寄生与分布电容 以差动电容传感器Cx1、Cx2配用电桥测量电路为例： U为电源电压，K为不平衡电桥的指示放大器。 所谓整体屏蔽是