SilvacoTCAD工艺仿真1解析.pptVIP

抽取氧化层厚度 * Silvaco学习 * go athena Line x loc=0.0 spac=0.02 Line x loc=1.0 spac=0.10 Line y loc=0.0 spac=0.02 Line y loc=2.0 spac=0.20 init two.d Diffuse time=30 temp=1200 dryo2 extract name=“Tox” thickness \ oxide mat.occno=1 x.val=0 tonyplot 在菜单栏中自动生成抽取命令 时得到的语句： EXTRACT init infile=AIa02224 EXTRACT extract name=Tox thickness oxide mat.occno=1 x.val=0 WARNING: specified cutline may give inaccurate values resulting from proximity to structure edge, (min=0, max=1) Tox=1378.95 angstroms (0.137895 um) X.val=0 EXTRACT quit 输出窗口显示的结果： 注意警告信息 结构操作 命令structure 可以保存和导入结构，对结构做镜像或翻转 参数：infile,outfil