TFT液晶显示器CVD设备操作与维护解析.docVIP

课题名称 TFT液晶显示器CVD设备操作与维护 院/专 业 机械工程学院/ 机电一体化 班 级 机电1211班 学 号 1101043 学生姓名 毕 业 指导教师： 2015年5月20日摘 要 知识经济的到来代表着人类逐步进入信息化社会。数字技术、多媒体技术的迅速发展以及家庭与个个人电子信息系统的逐步推广，人们对信息的显示需求的要求越来越迫切、广泛，其要求也越来越高。FPD 是市场中，薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）凭着其低压、低功耗、显示信息量大、易于彩色化、寿命长、无辐射等优异特性占据整个平板显示技术的主导地位。液晶显示器广泛应用于计算机和消费电子中，横跨 1 英寸到 100 英寸的市场，液晶显示器的市场规模巨大，已占平板显示市场的 90，因此，我国显示器产业将重点发展 TFT-LCD 领域。 本文以TFT液晶显示器制造过程为出发点，在阐明了液晶显示器显示原理及构造后，重点研究了TFT液晶显示器（TFT-LCD）下玻璃基板非金属膜的工艺。本研究对于我们了解整个液晶显示器的生产工艺，完善工艺流程，并且进一步提出更高效高质的非金属膜生产工艺，提供了广泛的理论和实践基础。本文主要研究内容如下：（1）TFT-LCD 显示技术的发展概况，以及其的结构特点来整体认识TFT-LCD；（2）非金属膜的形成的技术原理及分类；（3）非