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带你认识微压力传感器 文章来源：易择传感资讯网-专业的传感器行业综合信息平台 微压力传感器的工作原理:压力传感器的压力直接作用在传感器的膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这个压力的标准信号。 在微传感器中微压力传感器是其中一个主要的分支。传感器的灵敏度和线性度是传感器最重要的性能特征。特别是对于超微压力传感器而言。小量程的微压力传感器的灵敏度和线性度一直是阻碍微压力传感器发展的一大因素。 灵敏度和线性度是压力传感器最重要的两个性能指标。为了制作出能够满足实际应用需求的压力传感器,必需探索出一种压力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法。提供了一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析 FEA 和路径积分的仿真方法,从而实现了在满量程范围内不同压力值下对传感器电压输出值的精确估计,在此基础上对压力传感器的灵敏度和线性度进行了有效仿真。微压力传感器发展迅速,新研制出的一类传感器由于采用压电单晶片结构,并内置前置放大器,放大微弱信号并实现阻抗变换,从而使传感器具有量程小、灵敏度高、抗干扰性好等特点。这类传感器已广泛用于脉搏、管壁压力波动等微小信号的检测,因此,迫切需要一种简便的测量装置测量传感器的性能。 为了解决微压力传感器灵敏度和非线性的矛盾,在结构上,综合梁膜结构与平膜双岛结构的优点,采用双岛-梁结构