电子显微镜习题三答案.doc

习题三 “SEM”的中英文全称 扫描式电子显微镜 scanning electron microscopy 扫描电子显微镜的主要构造有哪些 电子光学系统 扫描系统 信号探测放大系统 图象显示和记录系统 真空系统 电源系统 扫描电子显微镜的主要工作原理是什么？ 扫描电镜的工作原理可以简单地归纳为“光栅扫描，逐点成像“。用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样品的表面结构形貌有关，次级电子由探测器收集，并被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象，反映了样品的表面结构形貌 “SEM”中的扫描系统由哪些主要部件构成 扫描系统主要由扫描偏转线圈、扫描信号发生器；扫描放大控制器等部件组成 “SEM”中，扫描系统的主要作用是什么？ 电子光学系统和扫描系统的作用是用来获得扫描电子束，作为信号的激发源 扫描电子显微镜的放大倍数是如何定义的？ 在“SEM”中，扫描电子束激发样品产生的物理信号主要有哪些？ “SEM”中二次电子像和背散射电子像的主要异同是什么？ 用背反射信号进行形貌分析时，其分辨率比二次电子低。 背散射电子来自样品表层几百纳米的深度范围。不仅能用作形貌分析，而且可以用来显示原子序数衬度，定性地用作成分分析。? 二次电子是在入射电子束的作用下被轰击出来并离开样品表面的样品原子的核外电子，来自表层5~10nm，能有效显示样品表面形貌，二次电子的产额和原子序数之间没有明显的依赖关系，不能用它来进行成分分析 在“SEM”中，接收样品信息的探测器主要有哪些？ 在图-1所示样品表面形貌示意图中，a、b、d、f处的二次电子产率由高到低的排序是什么？ 二次电子产率： a b d e 或 f 边缘效应 , e 与f 难以区分 a b d c 尖端效应 随着原子序数的增大，背散射电子产额是增大还是减小？ 增大 在图-2所示背散射电子图像中，A、B二处原子序数较大的是谁？ A 扫描电子显微镜有哪些主要的性能指标？ 分辨率 放大倍数 景深 用扫描电子显微镜观察非导电样品，为何通常要在非导电样品的表面镀上一层薄导电膜？ 非导电样品，如塑料、矿物等，在电子束作用下会产生电荷堆积，影响入射电子束斑和样品发射的二次电子运动轨迹，使图像质量下降。 在非导电样品的表面镀上一层薄导电膜，所采用的材料通常有哪些？导电膜的镀膜方法主要有哪二种？ 通常采用二次电子发射系数较高的金银或碳膜做导电层，膜厚控制在20nm左右 真空镀膜法 离子溅射镀膜法 - 4 - 图-1样品表面形貌示意图 图-2背散射电子图像 B A