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拉直单晶硅设备与工艺研究--大学毕业论文(设计).doc
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摘要 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Ⅰ
Abstract .......................................................... Ⅱ
第一章 1
1.1单晶硅的制备方法 ...............................................1
1.1.1区熔法 .................................................... 1
1.1.2直拉法 .................................................... 1
1.2直拉单晶硅的特点 ...............................................2
第二章 直拉单晶炉设备结构及保养与维护 .............................3
2.1直拉单晶硅炉的结构 .............................................3
2.2直拉单晶设备中的各类装置 .......................................4
2.3直拉单晶炉保养和维修简介 .......................................7
第三章 直拉单晶硅的工艺流程与常见故障处理 ....................... 8
3.1直拉单晶硅的一般工艺流程 .......................................8
3.2拉晶过程中的异常情况及处理 ....................................13
3.2.1熔硅过程中的异常情况及其处理 ............................. 13
3.3.2硅跳 ..................................................... 13
3.2.3突然停电及熔硅时未通水 ................................... 14
3.3单晶炉常见故障 ............................................... 14
第四章 单晶炉热场的研究和技术改进 ................................16
4.1直拉单晶炉的热场 ..............................................16
4.2直拉单晶炉热场控制系统 ........................................17
结论 ..............................................................19
参考文献 ..........................................................20
致谢 ..............................................................21
直拉单晶硅设备与工艺研究
摘要
得益于全球光伏产业的高速发展,我国光伏产业近年来也迅速腾飞。目前,我国已经成为光伏产业大国,各地大力发展太阳能产业,许多单晶硅企业纷纷上马。研究和掌握单晶硅的制取工艺显得尤为重要。目前单晶硅制备的主要方法有直拉法与区熔法,而国内大部分单晶硅都是采用直拉法制备的。直拉法生长单晶硅的设备和工艺比较简单,容易实现自动控制,生产效率高,易于制备大直径单晶,容易控制单晶中杂质浓度,可以制备低电阻单晶。
本论文详细介绍了直拉单晶炉的结构与直拉单晶硅的工艺流程,并对实际生产中可能遇到的常见问题进行了分析,最后对一些关键工艺如热场设计方面提出自己的改进建议。
关键词:直拉法;单晶硅;单晶炉;热场;工艺改进
Czochralski silicon device and process research
Abstract
Thanks to the rapid development of the global PV industry, the photovoltaic industry in China in recent years
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