DLC薄膜的技术总结.pptVIP

9. 纯碳DLC膜的粘附力 * DLC膜粘附力：0.11±0.04 nN 10. 掺氟DLC膜的粘附力（“晶粒”区） * “晶粒”区粘附力：0.05±0.01 nN 11. 含氟DLC膜的粘附力（非“晶粒”区） * 非“晶粒”区粘附力：0.000 nN 各表面及微区的粘附力比较 * 镀膜前粘附力最大，镀DLC膜后粘附力明显减小，掺杂F后粘附力更小，原因是其疏水性依次增大 含氟DLC薄膜的非“晶粒”微区（B区）的粘附力明显小于“晶粒”微区（A区），说明B区表面的疏水性更大或表面能更低 四、结论 电极距离的减小、溶液温度的升高、一定范围内水含量的增加等都会显著加速DLC薄膜的沉积 用自制装置成功地制得表面均匀而致密的DLC薄膜 用三氟乙醇制备的掺氟DLC薄膜具有较小的粘附力，疏水性强 * 本论文研究的突破和创新之处： 1.参与设计和搭建了独特的、能精密控制电压和电流的恒压恒流供电系统，国内外尚无相关报道 2.微量水的加入不仅能显著增大电流密度，且能有效增大镀膜速度 3.用AFM对非均质表面进行微区粘附力测量，国内外罕见。 * 致 谢 感谢指导老师庞重军博士的启发鼓励和热情帮助 感谢应化实验室提供良好的实验条件 感谢化学学院及应化系师生的关心和支持 感谢本原纳米仪器公司王春华工程师、汤华清工程师在AFM表征过程中的积极帮助 感谢广东省自然科学基金和茂名学院自然科学基金的资助 感谢论文评阅的各位老师和参与答辩的老师同学 * * Thank you very much! * AFM形貌的表征原理 AFM形貌的表征原理：在AFM中，使用对微弱力非常敏感的弹性悬臂上的针尖对样品表面作光栅式扫描。当针尖和样品表面的距离非常接近时，针尖尖端的原子与样品表面的原子之间存在极微弱的作用力（10-12~10-6N），此时，微悬臂就会发生微小的弹性形变。针尖与样品之间的力F与微悬臂的形变 之间遵循虎克定律：F=-k*x ，其中，k为微悬臂的力常数。所以，只要测出微悬臂形变量的大小，就可以获得针尖与样品之间作用力的大小。针尖与样品之间的作用力与距离有强烈的依赖关系，所以在扫描过程中利用反馈回路保持针尖与样品之间的作用力恒定，即保持为悬臂的形变量不变，针尖就会随样品表面的起伏上下移动，记录针尖上下运动的轨迹即可得到样品表面形貌的信息。这种工作模式被称为“恒力”模式（Constant Force Mode），是使用最广泛的扫描方式。 * AFM形貌原理图 * 类金刚石是一种非晶态结构，它是以SP3键碳共价结合为主体并混合有SP2键碳的远程无序立体网状结构（李芳，刘东平，甲翠英.a-C: H薄膜组成及结构仁[J].真空与低温，2001,7 (2) :85-88） （电流密度与时间的关系）阎兴斌 博士论文 电化学沉积和聚合物先驱体热解法制备类金刚石及碳纳米复合薄膜的研究 极化的宏观特征是：电介质贴近极板的两个表面出现与相邻极板所带电荷相异的电荷。 * Si基体的局部剖面分析 * 纯碳DLC薄膜表面粗糙度分析 * DLC薄膜的沉积机理 液相电沉积DLC薄膜过程中发生的主要电化学反应过程为： CH3OH → CH3O- + H+ (1) CH3OH + H+ → CH3+ + H2O (2) CH3+ + CH3+ + 2e→CH2=CH2 + H2 (3) nCH2=CH2 → [—CH2CH2—] n (4) [—CH2CH2—] n → Cn + 2nH2 (5) 参考文献：阎兴斌 博士论文 电化学沉积和聚合物先驱体热解法制备类金刚石及碳纳米复合薄膜的研究 * 粘附力曲线原理图 * 粘附力表征原理 由于探针同样品表面接触过程中形成粘附或化学键，引起微悬臂被粘附在样品，而微悬臂在被提起一段距离后，粘附就能被打破 。如下图所示： * * 图给出了探针在先逼近样品，后离开样品表面的过程中，微悬臂的形变，下图给出了典型的力－距离曲线。微悬臂开始不接触表面（图1，A点），如果微悬臂感受到的长程吸引或排斥力的力梯度超过了弹性系数，它将在同表面接触之前，向下或向上弯曲（图2，A→B）。当针尖被带到非常接近样品表面而且感受到足够的吸引力，它就可能突然跳跃式地同样品接触（图3，C点）。一旦针尖同表面接触，微悬臂固定端继续接近样品时，微悬臂形变量增加（图4，C→D）。如果微悬臂刚性很大，针尖就有可能刻压入表面（图5）。此时，力－距离曲线在接触部分的形状和斜率能提供关于样品表面的弹性信息。 在微悬臂受力达到预定值之后，过程将反转即微悬臂被提起后退（图6，D点）。由于探针同表面接触过程中有可能形成粘附或化学键，引