镀膜真空基础知识培训重点分析.ppt

* * 2.4 安装及事后管理 2) 真空泵的操作 ● 确认油位是否正常？停止时：2/3，运转时：1/2 。 ● 确认泵旋转方向是否正常？ ● 确认泵抽气方向是否正确? ● 确认泵的表面温度是否在40℃-80℃范围内？ ● 泵开始启动或运行一段时间时不可能达到目标压力。这时要打开补充阀，让泵运转30分钟左右 用油浓缩气体，以达到所希望的真空度。(注意：如果继续开启补充阀的话会增多油的消耗量， 反而使泵的温度升高很多。) 2.4 安装及事后管理 3) 分子泵的安装 分子泵安装使用前 ●泵与电源的型号必须匹配 ●确认防护网已经安装 ●电源输入电压220/110v±10% ●打开泵高真空端法兰盖板，带上干净手套，盘动分子泵叶片，观察 转动是否正常 ●必须竖直安装，最好不要吊装 2.4 安装及事后管理 分子泵的尺寸 FF- 200/13 00型进气口法兰为: DN 00LF、DN 00CF 2.4国产分子泵的技术性能 2.4 安装及事后管理 3) 分子泵的安装 进出口法兰、冷却水安装 1.泵入口、出口：正确安装、 密封良好 2.冷却水：无漏水 入口水压0.2MPa 水温20±５℃ 水质澄清无沉淀 注意： 环境温度 风冷需小于32℃;水冷可至40℃ 入口压强 强制风冷0.1Pa;自然风冷0.01Pa 2.4 安装及事后管理 ? 冷却要求： 由于轴承的高速旋转摩擦，加热器烘烤的热辐射及电机处 于真空环境中散热慢等原因，必须在分子泵工作时对轴承和电 机进行冷却。 （1）水冷：采用清洁低沉淀的自来水，也可采用冷却水系统。 对于高沉淀或腐蚀性水建议采用循环水系统，以防水管堵塞或 腐蚀。冷却水流量不应低于1升/分，温度不应高于25℃，温度 较高时，应加大冷却水流量。水嘴所接的水管内径为10mm, 分 子泵的工作环境温度为不大于40℃。 2.4 安装及事后管理 ? 电缆安装 （1）对正槽口插入 （2）拧紧螺母，边插边拧 （3）检查到位，防止接触不良 2.5 泵的维护 1) 旋转叶片及增压泵的修理方法 1-1) 分解及清洗 ● 分解泵体及内部叶片。 ● 首先清洗各部件。 ● 其次用超声波清洗。(80℃以上清洗30分钟) ● 再次清洗。(防止因防锈剂引起的腐蚀) ● 用砂纸打磨或更换叶片及内部缸体。 ● 更换相应的消耗品。 1-2) 组装方法 ● 没有密封圈或者垫片的话，先清洗叶片。 ● 轴发生微小的弯曲也会使叶片磨损，所以拆卸/组装时要特别。 ● 泵体组装后，手动转动轴，确认轴转动状态是否圆滑。 (如果旋转不好的话，要重新拆卸检查后再组装) ● 电机组装后，要检查驱动状态。(泵的能力测试：8.0×10-2 m? 以下) 2.5 泵的维护 2) 分子泵的修理方法 1-1) 分解及清洗 ● 分解泵体及叶片组件。 ● 分解叶片及定子组件。(分解时注意不要搞混定子组件) ● 分解电机及轴承和轴。 ● 用酒精进行第1次洗涤，消除内部污染物质。 ● 用防锈剂和水进行第2次洗涤。 ● 进行干燥。（在50℃以上进行2小时） 2.5 泵的维护 l需要清洗的情况： ü漏气和脱附气率没有变化的情况下，无法达到应有的真空性能，甚至长时间加热也不能恢复其真空性能 系统存在大量粉尘类衍生物，或者有固体、液体等进入分子泵内 一线岛津分子泵 1-2) 组装方法 ● 轴及轴承组装后，要确认偏心情况。(使用块规：允许范围 0.25㎜) ● 组装叶片及定子组件。 ● 组装泵体及叶片组。 ● 组装完成后，在大气压状态下进行性能测试： -. 检查项目：轴承上、下部振动及叶片偏心情况。 -. 发生偏心时使用仪器调整。(允许范围：0.25㎜) ● 进行第2次测试： 1) 在20000 rpm 下运行 15 小时。 2) 检查轴承上、下部振动及叶片偏心情况。 -. 检查项目：轴承上、下部振动及叶片偏心情况。 -. 发生偏心时使用仪器调整。(允许范围：0.25㎜) ● 进行第3次测试： 1) 在20000 rpm 下运行 8 小时。 2.5 泵的维护 2.6 故障措施 点 检 事 项 使用电压与规定的电压不一样。 电机的接线