MEMS在航天航空领域中的应用与发展趋势资料.pptxVIP

MEMS在航天航空领域中的应用与发展趋势电科二班陈天乐2016-12-241MEMS在航天航空领域中的应用与发展趋势航空航天MEMS传感器的工作环境航空航天MEMS传感器种类技术在航天领域中的应用优势和空间应用在太空/高空领域使用的MEMS技术的进展在微纳卫星领域的应用MEMS技术在航空领域的应用航空航天MEMS传感器的工作环境主要是指飞机、卫星、飞船各类飞行器以及火箭在外层空间飞行时所处的环境条件。它可分为自然环境和诱导环境。自然环境包括失重和各种空间环境。诱导环境是指航天器某些系统工作时或在空间环境作用下产生的环境。例如：轨道控制推力器点火和太阳电池翼伸展引起的振动、冲击环境。航天器上的磁性材料和电流回路在空间磁场中运动产生的感应磁场。航天器上有机材料逸出物沉积在其他部位造成的分子污染等。空间环境是空间飞行的基本环境条件。对航天器的运动和各系统的工作有显著影响。空间环境包括:真空、电磁辐射、高能粒子辐射、等离子体、微流星体、行星大气、磁场和引力场等。根据空间存在的物质、辐射和力场的时空分布特性。太阳系内的空间环境大致可分为行星际空间环境、地球空间环境和其他行星空间环境。航空航天MEMS传感器种类简单地说，航空航天传感器主要有状态传感器，环境传感器之分。前者包括各种活动机件的即时位置传感器。如副翼位置，喷口大小，油门位置，减速板位置，起落架收放位置等。飞机状态传感器。如迎角，侧滑角传感器，飞机姿态传感器等。各种参数如液压，油压，发动机振动量，滑油金属屑，各种消耗品如油料剩余量，消耗速度等。还有结冰传感器，火警传感器，极限传感器，过载传感器，生命传感器以及各种多余度系统的自动转换传感器。环境传感器主要有温度传感器、湿度传感器、氧气传感器、压力传感器、流量传感器等。优势和空间应用MEMS技术首先应用在航天技术领域‘。是由于航天技术对器件功能密度比的要求非常高，也可以说，MEMS技术的主要需求牵引来自于航天领域。MEMS技术在航天领域应用优势：极小的质量和体积；低发射质量；低功耗；大部分器件处于电静态；小的热常数；可用较低功率来维持温度，抗震动，抗冲击和抗辐射。机械装置，如开关，可以抗辐射加固。低惯性质量使MEMS可抗震动/冲击，高集成度，在一个芯片上集成了多种功能。大大简化了系统的结构，批量制造，低成本，大批量生产。因此，对航天工业的技术进步有着重大的推动作用。在太空/高空领域使用的MEMS技术的进展传统卫星的元器件，用MEMS技术批量化生产、在民用产品上已经广泛应用的一些惯性器件。用于大型卫星发射及在轨期间过程控制的监测，为卫星上部组件调控及地面遥控和卫星上部件故障的判断提供技术依据，也为提高后续卫星的设计水平及持续改进质量提供宝贵的资料。卫星的新型或改进仪器。MEMS是典型的新技术，如用于JWST的镜面阵列。尺寸缩小使得MEMS仪器可应用于纳米卫星以及新功能、大规模生产的仪器。MEMS元器件体积小、重量轻、功耗低。可大规模生产。与微型推进器相兼容。在微纳卫星领域的应用随着微电子技术的发展。特别是近年来以微型机电系统MEMS和微型光机电系统MOEMS为代表的微米，纳米技术的发展，使微型卫星、纳卫星和皮卫星等微小卫星的实现成为可能。由于MEMS加工技术本身的特点。MEMS器件很容易将传感器、执行器及控制电路集成在硅基底上。极大地减少了系统的组件个数，使卫星的体积和重量大大减小。纳型、皮型卫星是以MEMS技术和由数个MEMS组成的专用集成微型仪器ASIM为基础的一种全新概念的卫星，是MEMS应用于航天领域的重要成果。纳型、皮型卫星及其星座和编队飞行的发展同时给星上推进、姿控、电源等系统提出了包括体积、质量、功耗、成本和可靠性等在内的更高的要求。按照传统加工方法已无法使推进系统和星务管理、电源等系统在保证功能的同时达到纳、皮型卫星或者将来更小型卫星的质量、体积和功耗要求。只有通过采用MEMS技术，使卫星分系统和部件微型化，再使这些分系统和部件高度集成，研制出有较强功能的微型卫星，然后再发展分布式空间系统结构，以最终实现超小型的纳米卫星。基于MEMS技术的微型元器件以及微型姿控、推进分系统就是以此为契机迅速发展起来。a、微推进系统。为满足微、纳卫星的发展，必然要求有与其相适应的微推进技术，除对小冲量和小推力的要求更为苛刻外，包括对重量、体积和功率等的苛刻要求。利用MEMS加工技术，能将推进系统的贮箱、喷嘴、阀门、推进剂进给系统甚至控制电路都集成在一个或几个硅片上，再通过装配技术将这些MEMS器件组装在一起，形成功能完善、稳定性高的集成微推进系统。现在比较适用于微小卫星的推进技术是数字阵列微推力器和微压力传感器。b，微惯性测量组合。通过集成三轴MEMS陀螺和加速度计，构成一个结构灵巧、价格便宜的惯性测量器件，可取代传统的惯性装置，用于