光电技术第7章2节描述.pptVIP

光电信号的变换方法 7.3 几何光学方法的光电信息变换 7.3.1 长、宽尺寸信息的光电变换 7.4 物理光学方法的光电信息变换 7.4.1 干涉方法的光电信息变换 2 单频光相干的条纹检测 7.4.2 衍射方法的光电信息变换 2 夫琅和费细丝衍射 * * 将目标或工件的长、宽等尺寸信息转变为光电信息的方法有投影放大法，激光三角测量法，光学灵敏杠杆测量法，激光扫描测量法和差动测量法等。 ⒋ 激光扫描法 激光扫描法是1972年发展起来的一种技术。现在已经有很多不同型号的仪器产品。 激光束经过透镜1后被反射镜反射，由于同步位相马达的转动而形成扫描光束。扫描光束经过透镜1后变成平行的扫描光束，平行扫描光在扫描过程中被工件遮挡，光束经过透镜2后被位于焦平面上的探测器D接收，得到一个随时间变化的光电信号。再经过后续的信号处理电路(主要包括信号放大电路、边缘检出电路、计数电路等)，就可以得出工件直径的测量值。 由于同步马达是匀速转动的，转速为ωm，所以平行扫描光束的扫描角速度为ωL＝2ωm，则光扫描的线速度为 (7-46) 式中f为透镜l的焦距。若在扫描光束被遮挡的时间t内计数器的计数为n，晶振的时钟频率为v0，分频数为N ；则被测工件直径的计算式为 根据计数器记录的工件挡光时间内的时钟脉冲数，就可以求得工件的直径。非接触测