自动化检测仪表第9讲.ppt

第二编　过程参数检测技术 9.2.5 半导体气敏传感器 9.2.5.1 电阻型半导体气敏传感器 利用气体在半导体表面的氧化或还原反应，将引起半导体载流子数量的增加或减少，从而使敏感元件电阻值变化的原理。 当氧化型气体吸附到n型半导体，还原型气体吸附到p型半导体时，会使半导体载流子减少，敏感元件电阻值将增大。 当还原型气体吸附到n型半导体，氧化型气体吸附到p型半导体时，使载流子增多，敏感元件电阻值则减小。 9.2.5.1 电阻型半导体气敏传感器 N型半导体气敏元件阻值变化图 9.2.5.1 电阻型半导体气敏传感器 几种半导体气敏元件的典型结构 9.2.5.1 电阻型半导体气敏传感器 在气敏材料中添加铂或钯等作为催化剂，可以提高气敏元件的灵敏度以及对气体的选择性。 添加催化剂前灵 敏度特性 9.2.5.1 电阻型半导体气敏传感器 添加催化剂后灵敏度特性 9.2.5.2 非电阻型半导体气敏传感器 利用MOS二极管的电容-电压特性变化和MOS场效应管的阈值电压的变化等性质制成。采用特定的材料可以使器件对某些气体敏感。 9.2.5.2 非电阻型半导体气敏传感器 图示结构的MOS场效应对氢气敏感 MOS场效应管的灵敏度曲线 9.2.6 工业酸度计 工业酸度计属于电化学分析方法，用来在线测量溶液的酸碱度。 溶液的酸碱性可以用氢离子