高光作业.docVIP

反射率透射率 棱镜耦合法 棱镜耦合法是通过在薄膜样品表面放置一块耦合棱镜，将入射光导入被测薄膜，检测和分析不同入射角的反射光，确定波导膜耦合角，从而求得薄膜厚度和折射率的一种接触测量方法。 波导模式特征方程为 在式中， 为波数，为膜数，为 阶导模的有效折射率，分别为耦合角、棱镜角和棱镜折射率。若测得两个以上模式的耦合角，便可求出 棱镜耦合法的测量精度与转盘的转角分辨率、所用棱镜折射率、薄膜的厚度和折射率范围及基底的性质等因素有关，折射率和厚度测量精度分别可达到和，实际精度还会高些。 图1 近场探测原理 2.有关近场扫描光学显微镜的几本技术问题 近场扫描光学显微镜系统总体结构主要包括光学探针A、样品台B、探针扫描控制C(包括T一S间距控制)、光输入系统D和信号采集处理系统E五大 部分,如图2所示。其中,探针扫描控制基本上采用压电陶瓷控制方式。 图2 近场扫描光学显微镜结构示意图 (1)光学“探针”的制作 光学“探针”是近场扫描光学显微镜中的一个关键元件,它的质量决定了近场扫描光学显微镜系统图象的分辨率和信噪比,因此,其制作是sNOM中一个关键技术(这里所谓的‘.探针”指所有的亚波长尺度的微小光源或信号接收器)。一般讲,用于SNOM中的探针要求“小而亮”。探针尖端孔径越小,sNoM的分辨率越高;但另一方面,信号光又必须足够强,才能有足够的信噪比。这两者往往是矛盾的,不可能两者兼顾,只能根据不同的要求,设计不同的光探针。例如,若要获得高分辨 率的图象,必须制作足够小的探针.尽管这时信号光极其微弱;但若不追求图象分辨率(如微结构近场光谱应用),这时只要求有足够的光输出强度。以往,人们曾研制过许多不同种类的光学探针仁，如:镀铝的石英针尖,带孔的金属薄 平板,镀铝微毛细管,荧光探针,光镊(oPticaltweezer)探针等等。 目前国际上最为常用的是锥形光纤微探针川。这种探针具有制作方便,机械性能好,重复性好等特点。图3即是一个光纤探针的结构,主要有三个部分:光导部分、连接部分端。其中,由于连接部尺寸小于波导截止尺寸,在锥面上将产生大量能量损耗。为减小这种损耗而增大光输出,可在针尖外围镀一层金属膜。 这种光纤探针的制作方法主要有两种:一为腐蚀法,即将单模光纤置于HF溶液中,调节温度、浓度及时间,可以得到10nm以下尺寸的针尖,但这种方法的重复性差。另一种方法为Co:激光加热法,这里采用生物实验中常用的毛细管微电极拉制器,用CoZ激光加热光纤,快速拉断,光纤断头将自然形成小尺寸的锥型。锥型形状和针尖尺寸可通过拉速、温度和熔区大小等参数调节,具有简便,重复性好的特点。用这种方法,Bell实验室获得了12nm的探针,通过外镀铝膜,其光输出比达到“。 图3 锥形光纤探头结构示意图 (2)Tip一Sample间距的控制距的控制 在SNOM中,另一个关键的技术问题是如何有效地控制针尖和样品间的距离(T一S间距)。主要有三种方法:一是等高模式(constantaltitudemode),如图4(a)。针尖在一个固定水平高度_L扫描,光信号强度的起伏反映了表面形貌的起伏,这种模式适用于表面极为平整的样品,目前较少采用。二是等强模(constant sntensity mode),如图4(b)。这里采用STM中的反馈系统,针尖按照设定的光强值,随表面光强起伏而上下起伏,反馈信号反映了表面光强的变化。由于在近场范围中,光强与间距的关系并不是单调变化的,因此反馈信号的起伏并不严格反映表面的形貌。第三种是剪切力控制模式(Shear一forceControlmode),如图4(e)。这种模式的理论机制目前并不很清楚。简单地讲,由于针尖与样品之间存在一些长程力(如粘滞力等),并存在一个共振频率f(d),当探针在按等光强模式扫描的同时,沿一水平方向以这一共振频率作微小振荡,针尖在这一方向上的振动将受到阻碍而很容易被观到。这样针尖可以按照固定的T一S间距上下起伏。这种方法被认为是目前SNOM中T一S间距控制的最好方法。 图4 光针样品间距控制模式