* 差动电感应式传感器与单线圈的电感应式传感器相比,结构上要复杂一些,但测量精度和灵敏度较高。 * * * 武汉理工大学机电学院 */55 过滤以后的压缩空气经管道 1 进入稳压器 2 稳压,保持压力为4 Kgf/cm2。打开开关3,压缩空气进入气动量仪的进气口,经小孔 4 及 5 分为两路。一路进入薄膜6上方的气室,另一路进入下气室。下气室有管道 8 通喷嘴 9,工件10即放在喷嘴 9前面而形成一个气隙 Z,气隙 Z 的变化将影响下气室的压力,上气室的压缩空气经测量杆7上端的锥面出气环而排入大气。 工件尺寸减小,Z 增大,p1下降。膜片 6 原来的平衡位置被破坏,因而使膜片下移,测量杆7也随之下移,从而增大了测量杆 7 上端出气环的排气截面积,使上气室压力p2 也下降。 1)薄膜式气动量仪 当测量杆 7 下移至某一位置,上、下气室的压力使膜片 6 重新获得平衡的位置,测量杆 7 即保持不动,通过表杆 11、指示表 14 指示出工件的尺寸偏差。 测量原理 * 武汉理工大学机电学院 */55 薄膜式气动量仪图例 * 武汉理工大学机电学院 */55 式中,K —— 量仪气动系统的放大比; k ——比例常数; ——上降压喷嘴的孔径(毫米)( 图中的孔4); ——下降压喷嘴的孔径(毫米) ( 图中的孔5);
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