分子泵保养与使用维修手册.docVIP

一、分子系的内部结构　　 　　1．高真空接口???? 60．球型轴承 　　2．前级真空接口?? 61．半径方向防震垫圈 　　3．冷却水连接???? 63．轴向防震垫圈 　　4．排气接口?????? 64．电视单元 　　5．电气连接?????? 65．0-圈 　　6．橡胶底座?????? 72．0-圈 　10．转子????????? 　73．0-圈 　　10 a．转子中心毂?? 80．锁紧著 　　14．安装螺帽?????? 81．0-圈 　　16．USIT接头????? 82．润滑油包 　　58．螺丝?????????? 83．0-圈 　　59螺帽??????????? 84．油包安装环 二、分子泵的清洗： 　　一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其它的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下： 1．关掉分子泵，进行排气。 2．从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。 3．拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等 4．拆掉润滑的油包 5．将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。6．往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜，如下图。 　　 7．上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转