第6章电容式传感器范例.ppt

6.3 电容式传感器的信号调理电路 1. 电桥电路 2.调频电路 3.谐振电路 4.运算放大器电路 5.脉冲宽度调制电路 6.正反馈同相积分电路 1. 电桥电路 4. 运算放大器式电路 特点： 能够克服变间隙电容式传感器的非线性，使V－X 成线性关系。 6.4 影响电容传感器精度因素及提高精度的措施 6.4.2 漏电阻 使传感器灵敏度下降 输出产生零位漂移 6.4.3 边缘效应 使传感器灵敏度下降 非线性增加 6.4.4 寄生电容的影响 寄生电容：电容器极板与周围物体、连接电缆之间产生的电容联系。 危害：使传感器电容改变，导致传感器特性不稳定，从而带来干扰。 1.电容式测微仪 用以测量金属表面状况、距离尺寸、振幅等参数，一般采用单极式变间隙电容传感器,即被测物体作为传感器的一个极板，另一个极板在传感器内，最小检测量为0.01μm。 2.差动电容式压力传感器 6.6 小结 电容式传感器有如下特点 参数变化大、极低的内耗性能 、高的动态响应。 2) 对介电常数的影响 原因：介质的介电常数有不为零的温度系数，产生附加电容。 可由后续测量线路进行补偿，但不可完全消除。 To Two 选用绝缘性能良好的材料作两极板支架，如陶瓷、石英等； 采用高的激励电源频率，降低传感器内阻抗。 电容式传感器的电容量很小，如果激励频率较低时，内阻抗就很