第五章气相沉积技术重点分析.pptVIP

超电导技术 化学气相沉积技术生产的Nb3Sn超导材料是目前绕制高场强小型磁体的最优良材料。 化学气相沉积法生产出来的其它金属间化合物超导材料还有Nb3Ge、V3Ga和Nb3Ga等，其中Nb3Ge的临界温度已高达22.5K。 光纤通信 通信用的光导纤维是用化学气相沉积技术制得的石英玻璃棒经烧结拉制而成的， 其具体工序是：首先用化学气相沉积技术制得石英玻璃预制棒，烧结拉制成几千米的细丝(一般100?500?m)，再立即涂上一层适当厚度(5?20?m)的树脂加固，然后再进行二次涂覆。其中关键步骤是制备石英预制棒，利用高纯四氯化硅和氧气可以很方便地沉积出高纯石英玻璃。在气相沉积过程中，加入Ge、P、B等元素的气态混合物，以便形成特定折射率分布的掺杂层。 化学气相沉积的应用领域 复合材料制备 微电子学工艺 半导体光电技术 太阳能利用 光纤通信 超电导技术 保护涂层 保护涂层 ? 耐磨涂层 耐磨涂层一般包括难熔的硼化物、碳化物、氮化物和氧化物。 按照这些材料的化学键可以对它们进行分类：金属键(硼化物、碳化物、过渡金属的氮化物)，共价键(金刚石、硼化物、碳化物和铝、硅、硼的氧化物)，离子键(铝、鈹、钛、锆的氧化物)。除了涂层的重要特性外，还必须考虑基体和界面的性能。重要的性能包括涂层的结合强度，界面的扩散和热损失，基体的硬度、强度和韧性。涂层以及涂层-基体复合体在涉及到