第11讲 电子衍射结构分析 主要内容 透射电镜的基本结构和成像原理 主要部件的结构和工作原理 电子衍射概述 3.1 电子衍射的特点(与X—射线衍射对比) 1)电子波的波长比X—射线短的多,在同样满足布拉格定律时,它的衍射角θ非常小,约为10-2rad, 而X射线衍射时, 最大角可接近π/2. 原因: 根据布拉格定律: sinθ=λ/2d ≤1 常见晶体的晶面间距为1—0.1nm范围,所以用于衍射的X射线波长在0.05—0.25nm范围, θ接近π/2. 通常透射电镜的加速电压为100—200kV,即电子波的波长在10-2—10-3nm数量级, θ约为10-2rad. [011]?∥[012]?;[111]?∥[001]? In740合金晶内魏氏组织?相的TEM形貌及其电子衍射图 1 透射电镜的基本结构和成像原理 电子光学系统 电源与控制系统 真空系统 透射电子显微镜的构造 电 子 光 学 系 统 照明系统 成像系统 观察记录系统 电子枪 聚光镜 物镜 中间镜 投影镜 透射电镜的构造原理和光路图 1 电子枪 2 阳极 3 聚光镜光阑 4 聚光镜 5 样品 6 物镜 物镜光阑 选区光阑 中间镜 投影镜 荧光屏或底片 照明系统 成像系统 电子光学系统中各部件的作用(1) 电子枪 照明系统 聚光镜 产生束斑直径几十微米 的高速电子 调节照明强度
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