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GaN半导体材料及其应用 摘要：介绍了半导体的基本概念及分类，重点阐述GaN半导体的基本知识及其主要的应用方面。GaN是一种具有优越热稳定性和化学性质的宽禁带半导体材料, 这种材料及相关器件可以工作在高温、高辐射等恶劣环境中, 并可用于大功率微波器件.最近几年,由于GaN蓝光二极管的成功研制, 使GaN成为了化合物半导体领域中最热门的研究课题. 关键字：GaN，半导体，制备，应用 1、半导体的概念及其发展史 半导体是指室温时电阻率约在1MΩ·cm～1GΩ·cm之间的材料。半导体材料种类很多，按化学成分可分为元素半导体和化合物半导体两大类。锗和硅是最常用的元素半导体；化合物半导体包括第Ⅲ和第Ⅴ族化合物（GaAs、GaP等）、第Ⅱ和第Ⅵ族化合物( 硫化镉、硫化锌等)、氧化物(锰、铬、铁、铜的氧化物),以及由Ⅲ-Ⅴ族化合物和Ⅱ-Ⅵ族化合物组成的固溶体（镓铝砷、镓砷磷等）。除上述晶态半导体外，还有非晶态的玻璃半导体、有机半导体等。 在半导体产业的发展中，一般将Si、Ge称为第一代半导体材料；将GaAs、InP、GaP、InAs、AlAs称为第二代半导体材料；而将宽禁带的GaN、SiC和金刚石称为第三代半导体材料。GaN是一种具有优越热稳定性和化学性质的宽禁带半导体材料，因这种材料及相关器件可以在高温高辐射等恶劣环境中工作等特性。GaN半导体的制备及性能研究日益受