位移的纳米测量方法微弱振动的纳米量级监视实验课件.pptVIP

位移的纳米测量方法微弱振动的纳米量级监视实验 实验目的： 建立纳米测量的概念，了解其实现方法 利用笔束激光干涉法进行纳米量级的位移测量。 了解微弱振动监测的原理 进行纳米量级的微弱振动监视。 实验原理： 实验步骤 不扩束 工作台16的试件夹中装入直角棱镜，工作台18的试件夹中装入带PZT的直角棱镜，利用工作台测微螺杆和调平调向螺钉调节直角棱镜，使二反射光束成相距5～8mm的平行光，经透镜20会聚于焦点 光阑22滤波（焦面内移动） 目镜21成像，微调，使透镜20焦点处的光点放大成像在CMOS23上 移动CMOS23，使条纹清晰，锁定23 启动电源箱上PZT工作开关，运行计算机程序，送直流电压，使工作台18中PZT轴向平移直角棱镜，观察条纹平移情况 运行计算机条纹程序，实现定标与计量 实验记录 * * 在CMOS上干涉条纹的位移量xf 式中N为条纹移动数，M为物镜10的放大倍数，f为FT透镜8的焦距，2d为测量光束与参考光束的空间间距，S为被测量镜的位移量。 实验光路 5 4 3 2 1 Xf 移动条纹数（N） PZT驱动位移量S 序号 *