半导体制程RCA清洗IC摘要.ppt

急救药品布置 聚氯乙烯 防护服 防酸手套 聚氯乙烯 围裙 天然橡胶 高筒靴 1. 感性认识 —— 常规化学清洗台的操作 样机图片 1. 感性认识 —— 常规化学清洗台的操作 1. 感性认识 —— 常规化学清洗台的操作 1. 感性认识 —— 常规化学清洗台的操作 机台启动 压力表 启动开关 定时 1. 感性认识 —— 常规化学清洗台的操作 温度设定 1. 感性认识 —— 常规化学清洗台的操作 酸槽盖板打开 酸槽盖板放置 化学石英槽 1. 感性认识 —— 常规化学清洗台的操作 晶圆处理 晶圆、晶舟 1. 感性认识 —— 常规化学清洗台的操作 清洗开始 晶圆转移 1. 感性认识 —— 常规化学清洗台的操作 时间设定 化学清洗完成 1. 感性认识 —— 常规化学清洗台的操作 晶舟放入冲洗槽 取出架托 1. 感性认识 —— 常规化学清洗台的操作 关闭清洗槽盖板 开始清洗 1. 感性认识 —— 常规化学清洗台的操作 旋转脱水 晶舟移入 旋转脱水 1. 感性认识 —— 常规化学清洗台的操作 脱水结束 晶圆放入晶圆盒 1. 感性认识 —— 常规化学清洗台的操作 系统关闭及清理 关闭系统 1. 感性认识 —— 常规化学清洗台的操作 冲洗化学槽、清洗槽