毕业设计(论文)－镁铝合金CMP表面质量的控制技术研究.docVIP

河北工业大学城市学院2010届本科毕业设计说明书 PAGE PAGE 20 河北工业大学2009届本科毕业论文 河北工业大学城市学院 毕业设计说明书 作 者： 学 号： 系 ： 城市学院信息工程学院 专 业： 电子科学与技术 题 目： 镁铝合金CMP表面质量的控制 技术研究 指导者： 评阅者： 2010年5月24日 毕业设计中文摘要 镁铝合金CMP表面质量的控制技术研究 摘要： 随着高新技术的发展，对材料极高精度、近无缺陷的平面化加工技术提出了更高的要求，需要对某些合金材料实现极高精度、近无缺陷的超精密平面化加工。铝镁合金材料因其本身优良的性能，在国防、航空、航天等领域得到了愈来愈广泛的应用，并对其表面完美性提出更高的要求。 本论文主要系统研究啦镁铝合金CMP表面质量的控制，通过系列的实验，得如下结论：在转速为60RPM，抛光液流速为220ml/min，压力为0.05Mpa，轻抛时间为30s，重抛时间为30min，抛光温度为27度的条件下，采用抛光液配比为：有机碱含量：10ml/L ，硅溶胶（40wt%）：纯水为1:1 ，活性剂为10ml/L 的抛光液对镁铝进行抛光，表面质量好。 关键词： 镁铝合金 化学机械抛光 抛光液 毕业设计外文摘要 Title Magnesium aluminium CMP surface quality research Abstract The higher standard to planar process technology of special material has been processed with the development of science and technology. Some al-mg alloys material need ultra-precise planarization processing with few defects in the key or importance components of some plane device such as fiyer plate and so on. AL-mg alloys material are widely used in the domains of national defense, aerospace etc.due to their special capabilities. Furthermore, higher requirements have been put forward to the perfect surface of al-mg alloys. Control of magnesium aluminium alloy CMP surface quality of main system research of this thesis, through the experiment of the series, get the following conclusion：It is 60RPM in the rotational speed, the velocity of flow of the polishing liquid is 220ml/min, the pressure is 0.05Mpa, it is 30s to throw time lightly, it is 30min to throw time again, polishing under the at a temperature of 27 degrees terms, adopt polishing liquid matching: Organic alkali content: 10ml/L, silicon sol (40wt%): The pure water is 1:1, active pharmaceutical carries on the polishing to magnesium aluminium for the polishing liquid of 10ml/L, the surface is of high quality