PECVD制備氮化硅薄膜的研究进展.docVIP

PECVD制备氮化硅薄膜的研究进展 毕业设计（论文） （ 2013 届） 题 目 PECVD制备氮化硅薄膜的研究进展 学 号 1003020147 姓 名 钟建斌 所 属 系 新能源科学与工程学院 专 业 材料加工及技术应用 班 级 10材料（1）班 指导教师 胡耐根 新余学院教务处制 目录 TOC \o 1-2 \h \u HYPERLINK \l _Toc27153 摘要 PAGEREF _Toc27153 1 Abstract HYPERLINK \l _Toc17685 PAGEREF _Toc17685 2 HYPERLINK \l _Toc14626 第一章 氮化硅薄膜的性质与制备方法 PAGEREF _Toc14626 3 HYPERLINK \l _Toc11041 1.1 氮化硅薄膜的性质 PAGEREF _Toc11041 3 HYPERLINK \l _Toc4706 1.2 与常用减反射膜的比较 PAGEREF _Toc4706 4