基于MEMS的非致冷紅外成像技术.docVIP

PAGE \* MERGEFORMAT 1 基于MEMS的非致冷红外成像技术 目录 TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc410082139 基于MEMS的非致冷红外成像技术 PAGEREF _Toc410082139 \h 1 HYPERLINK \l _Toc410082140 1、原理简介 PAGEREF _Toc410082140 \h 1 HYPERLINK \l _Toc410082141 2、基于MEMS的非致冷红外成像技术的读出方式 PAGEREF _Toc410082141 \h 2 HYPERLINK \l _Toc410082142 2.1、电学读出方式 PAGEREF _Toc410082142 \h 2 HYPERLINK \l _Toc410082143 2.2、光学读出方式 PAGEREF _Toc410082143 \h 4 HYPERLINK \l _Toc410082144 2.2.1、光学读出方式系统介绍 PAGEREF _Toc410082144 \h 4 HYPERLINK \l _Toc410082145 2.2.2、中科院研究的新型非制冷红外成像技术 PAGEREF _Toc410082145 \h 5 HYPERLINK \l _Toc410082146 2.2