微弱信號调理电路和模数转换电路的探讨.docVIP

微弱信号调理电路和模数转换电路的探讨 A Discussion of weak signal procession and A/D circuit 郭 斌 欧 阳 烨 （中科院上海微系统与信息研究所 传感器国家重点实验室） Guobing OuYangYei 摘要： 模拟电路的设计知识虽散, 设计人员需具备一定的实践经验，但也是有轨可寻。本文通过直流激励MEMS压力传感器，尤其是交 直流激励MEMS差分电容振动加速度传感器的调理电路和模数转换电路的实现 二个典型电路，来阐述模拟电路的设计的一些方法、规律，抛砖引玉。 关键词：差分电容传感器 前置放大 阻抗匹配 信号调理 线性放大 A/D 模数转换电路 Abstract: This article discusses four typical procession and AD circuits for DC stimulated pressure sensor, AC/DC difference capacitance vibration acceleration sensor to present some methods of analog circuit design. 引言: 在20世纪80年代崛起的数字技术迅猛发展的光芒照耀下，模拟技术的进步，确显的蹒跚滞后。但 现时随着科学技术的不断发展，人们对自然认识的“与时俱进”，在电子电路技术领域对模拟电子线路的认识又重新进行了定位。 虽然今天的模拟电路的功能大部分可以用集成电路来实现，但至今仍有许多模拟电路不得不采用大量的分离电路 或 混合电路来实现，特别是在大功率、高频、A/D、D/A接口电路，而其中模拟电路的难点应当首推为 微弱信号的调理电路和模数转换电路。成功的电路测控系统，要求传感器和模拟电路有有机的阻抗匹配和能量匹配，系统要求电路平衡。 通常定义传感器是一种换能器， 严格来说, 传感器是一种接收信号或受激励 并以电信号响应的能量转换器件。传感器将其它类型的能转换成电能，正是因为传感器有如此类型的特点, 传感器及其相关的转换、 调理电路和模数转换电路可用来测量各种不同的物理量， 例如： 温度、力、压力、流量、光强、物体加速度等。但是就传感器本身而言传感器不能独立工作，通常 它是和信号调理电路和各种模拟信号电路或数字信号电路构成一个电路系统。 大多数传感器其满度输出都是相当小的微弱的信号,在进一步作模拟或数字处理之前,必须对它们的输出进行适当的处理。据此, 便发展出了通常称之为的信号调理电路的一大类分枝电路。这类电路， 大至 分为放大、电平转换、电隔离、阻抗变换、线性变换和滤波电路等。 但是,不管采取哪种调理方式, 调理电路的结构和性能都取决于传感器的电特性和输出。根据传感器的一种分类法,将传感器分为有源和无源二类。一般而言,有源类传感器是指无需外部激励自身可以产生变化的电信号；无源类传感器 则是指 需外部激励方可产生变化的电信号,且自身不能产生电信号。 激励又可分为 直流激励,交流激励, 交直流混和激励 三种。 本文 根据上述传感器的分类,联系具体的MEMS压阻式、MEMS电容式传感器的应用。来谈一谈调理电路和模数转换电路的实现的一些方法、规律。 传感器调理电路和模数转换电路的实现 1)直流激励MEMS压力传感器调理电路和模数转换电路的实现 图一 是一个测量压力的电路原理图,选用的压力传感器是 目前时尚的微机械MEMS 压力传感器。 微机械MEMS系统 传感器,是近些年来发展较快的一新科技领域，是以硅为基体,在此基础上发展出 流量、压力、振动、角速度传感器系列等。MEMS压力传感器采用惠斯通电桥可变电阻法, 一对惠斯通桥臂电阻被光刻在硅悬臂梁的正反二面上, 当悬臂梁受外力胁迫变形时, 会对 这对惠斯通电桥臂电阻产生一拉,一压的作用效果，这时，这对电桥臂电阻的阻值 就会发生变化。外力引起的变化调制成这对电阻的阻值变化。硅 MEMS压力传感器是一种无源传感器, 硅悬臂梁在压力作用下产生变形,从而引起这对惠斯通桥臂电阻的阻值变化。在外加直流电压或电流的激励下,外加压力通过引起电阻的变化，被调制成电信号的变化。 这对惠斯通电桥臂电阻采用光刻 蚀而成,一般在10K左右。用MEMS做成的压力传感器比应变片做成的压力传感，电阻值高，器灵敏度高,抗干扰性好，寿命长。 图一 是一个测量压力的电路原理图： （ 图 一 ) 具体电路如图一所示,一级运 放 U1采用增益可调平衡差动放大电路输入法，其目的是最大限度的压制共模干扰,提高系统精度。 图二 增益可调平衡差动放大电路原理及等效电路图