氮化硅納米薄膜非平衡热导率的实验研究.docVIP

PAGE PAGE 6 氮化硅纳米薄膜非平衡热导率的实验研究 马连湘作者简介：马连湘（1962-），男，河北南宫人，教授，博士生导师，主要从事材料的热物理性能及轮胎温度场的分析研究.*通讯联系人。 作者简介：马连湘（1962-），男，河北南宫人，教授，博士生导师，主要从事材料的热物理性能及轮胎温度场的分析研究. *通讯联系人。地址：青岛科技大学东部校区505信箱。Email:dzlqust@126.com 电话：0532(青岛科技大学 机电工程学院,青岛,266061) 摘要：根据3ω方法测试原理,搭建了薄膜导热系数测试平台. 3ω实验方法是一种可以对薄膜热导率进行瞬时测量的方法,并且分别测试低频率段和高频段的氮化硅薄膜、基底的温升及薄膜热导率。测试结果表明: Si3N4薄膜的热导率随温度的升高而增大；高频段下，热导率受频率影响大，误差大；在低频段下薄膜热导率与频率变化基本无关；基于电子与声子的局部热平衡运输方程假设，Si3N4薄膜的热导率具有极度非平衡性；通过比较电阻、热导率与温度的关系可以看出加热器的尺寸大小会影响薄膜的热导率，通常情况下加热器的宽度选用20?m and 24?m。 关键词：氮化硅薄膜；热导率；非平衡；3ω方法 The experimental study of None-equilibrium thermal conductivity