爐管考核須知.pptVIP

National Nano Device Laboratories Create for the future 國家奈米元件實驗室垂直爐管技術資料 * 技術資料 垂直爐管 * 1、概觀 2、模組介紹 * 1、概觀 1.1 A-400 A-400是模組化爐管，設計為處理矽晶片，如半導體元件製造的一部份。 A-400結構由下列組成： ?Work-In-Progress（WIP）station ?Robot section ?Reactor module（two or three） * WIP Station WIP station包含一組Carousel，共有三層，每一層能置放8個晶舟（每個晶舟可放25片晶片）。 WIP station共可容納24個晶舟(600片晶片)。 操作欲進入到Carousel須過裝設在WIP側面的操作門。 Robot Section Robot藉由氣密門隔離WIP和Reactor模組〔Open僅當Loading和Unloading時〕。 Robot傳送晶片從WIP到Reactor boat載入位置。 Reactor Module Reactor Module是個小型裝置，包含Reactor tube，Boat elevator，3個Boat position corousel和所有電子及供氣系統零件供應此模組。 Reactor carousel配件，提供