OLED CELL制程及设备介绍.ppt

? 2014 天马微电子股份有限公司. All rights reserved ? 2014 天马微电子股份有限公司. All rights reserved * OLED CELL制程及设备介绍 2014-08-4 目录 Contents 1 OLED CELL制程功能简介 2 OLED CELL工艺流程简介 3 CELL内各工艺制程及设备介绍 Gap sealing 偏光片贴附 CELL 测 试 Cell Aging Cell 切 割 1/4 切 割 清 洗 检 查 磨 边 Array CELL前 Cr 的 刻 蚀 ITO 的 刻 蚀 制 作 绝 缘 层 阴 极 隔 离 柱 OLED CELL制程功能简介 5.5G Array基板4分切割以便投入蒸镀 1/4中片切割成Panel 前制程本制程不良检出 完成Aging/Gap seal/偏光片贴附后output to MOD OLED CELL工艺流程简介 Array OLED TP/Cover iutput LTPS Input 1/4切割 磨边(Grinding) 清洗(Clean) 外观检查 OLED蒸镀 1/4切割 磨边(Grinding) 清洗(Clean) 外观检查 OLED封装 Cell input 清洗覆膜 Cell切割 清洗(Clean)